[发明专利]玻璃基板移载装置

权利要求书

1.一玻璃基板移载装置，其特征在于包含有：

一箱体，具有左右上三壁面，前后端及底部则呈开通状态，该箱体的上壁面设有通透部，供气体流通，该箱体的上壁面并设有一基板支撑组，该基板支撑组由多个设于该箱体内部上壁面的支撑件所构成，所述支撑件相隔一预定距设置，使二相邻支撑件之间的距离可供玻璃基板容置；

一RF电极组，由多个RF电极板所构成，一接地电极组，由多个接地电极板所构成，该RF电极板与该接地电极板相互交错间隔的设置于该箱体内，并且相邻的RF电极板与该接地电极板之间的距离可以容置玻璃基板。

2.依据权利要求1所述玻璃基板移载装置，其特征在于，所述RF电极板与所述接地电极板皆分别以一端设置于一对应的支撑件下方。

3.依据权利要求2所述玻璃基板移载装置，其特征在于，所述每一RF电极的底缘皆设有一绝缘件。

4.依据权利要求2所述玻璃基板移载装置，其特征在于，该箱体置入于一底部设有电极支架的真空腔室，各该电极板的另一端在该箱体置入真空腔室后则与设于该真空腔室底部的电极支架衔接。

5.依据权利要求1所述玻璃基板移载装置，其特征在于，所述各支撑件的两侧皆具有一抵面，供玻璃基板依靠。

6.依据权利要求1所述玻璃基板移载装置，其特征在于，所述每一RF电极板及接地电极板下段的两侧各设有一支撑块，使每一玻璃基板在设置时上方与下方皆可以获得支撑。

7.依据权利要求1所述玻璃基板移载装置，其特征在于，所述电极板下方另设有多个滚动件，使玻璃基板的底缘依靠于所述滚动件上以方便移进或移出该箱体。

8.依据权利要求7所述玻璃基板移载装置，其特征在于，各所述滚动件设于RF电极板下方。

9.依据权利要求7所述玻璃基板移载装置，其特征在于，各所述滚动件设于接地电极板下方。

10.依据权利要求1所述玻璃基板移载装置，其特征在于，各该电极板接近该箱体后端处设一挡部。