[发明专利]粘接用蜡的去除工具及使用该工具的粘接用蜡去除方法无效

专利信息
申请号: 200810087394.3 申请日: 2008-03-27
公开(公告)号: CN101288868A 公开(公告)日: 2008-10-22
发明(设计)人: 片冈光宗 申请(专利权)人: 利德株式会社
主分类号: B05D1/32 分类号: B05D1/32;H01L21/02
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 何腾云
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 粘接用蜡 去除 工具 使用 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种去除被加工物固定用工具中的粘接用蜡的去除工具及使用该去除工具的粘接用蜡去除方法,其中,在使用粘接用蜡将电子部件相关的基板及晶片等电子部件用基板、或者从其切割出的切片等被加工物粘接固定在被加工物固定用工具上,以使用旋转切刀对该被加工物进行切割而形成单片时,该去除工具用于从设置在该被加工物固定用工具上的多个旋转切刀的通路用槽中去除上述粘接用蜡。

背景技术

在使用旋转切刀对由电子部件相关的基板及晶片、或者从其切割出的切片等电子部件用基板构成的被加工物进行切割时,优选的是使用粘接用蜡将该被加工物粘接固定在具有多个旋转切刀的通路用槽的被加工物固定用工具的固定面上。在实际的加工中,该粘接用蜡的粘接强度越高,则切割加工上述被加工物的加工精度越高,因此将上述被加工物牢固地粘接固定在被加工物固定用工具的固定面上是很重要的。

于是,为了提高上述粘接用蜡的粘接强度,可以使用粘接强度高的、即高粘度的粘接用蜡。但是粘接用蜡的粘性越高,则仅在需要涂敷该粘接用蜡的上述固定用工具的固定面上涂敷粘接用蜡的操作越困难,粘接用蜡会被涂敷在不需要涂敷该粘接用蜡的上述固定用工具中的旋转切刀的通路用槽等中。在粘接用蜡被涂敷在通路用槽等中的情况下,难以从该通路用槽去除粘接用蜡,结果导致在进行上述被加工物的切割加工时,在切割该被加工物的同时,由旋转切刀去除涂敷在该通路用槽中的粘接用蜡。而且,若在切割加工时旋转切刀与粘接用蜡接触,则该粘接用蜡粘附在旋转切刀的表面上,导致旋转切刀的切割加工中的磨削阻力上升,从而妨碍切割加工的顺利进行,不仅导致因旋转切刀的弯曲等而引起的切割精度下降,还存在降低被加工物切割面的面精度的问题。特别是,在使用由#2000以上的细粒规格的砂轮所构成的旋转切刀时,粘接用蜡粘附在旋转切刀上的不良影响极大。

发明内容

鉴于以上所述,本发明的课题是:提供一种粘接用蜡的去除工具及使用该去除工具的粘接用蜡去除方法,在为了使用旋转切刀对由电子部件用基板所构成的被加工物进行切割而使用粘接用蜡将该被加工物粘接固定在被加工物固定用工具上时,可以易于从设置在该被加工物固定用工具上的多个旋转切刀的通路用槽中去除粘接用蜡,使得在该通路用槽内部不存在涂敷有粘接用蜡的状态,可以抑制粘接用蜡对旋转切刀表面的粘附及切割加工中的磨削阻力上升。

为解决上述课题,本发明是一种被加工物固定用工具中的粘接用蜡的去除工具,从设置在为了使用旋转切刀切割被加工物而以粘接用蜡将该被加工物粘接固定的被加工物固定用工具的固定面上的多个旋转切刀的通路用槽中,去除用于粘接固定上述被加工物而附着的粘接用蜡,该去除工具包括:多个遮蔽部件,其对应于上述被加工物固定用工具中的多个通路用槽地平行且等间隔配置,并形成可以覆盖该通路用槽的槽底部的宽度;和支撑部件,其支撑这些遮蔽部件的两端。

本发明的粘接用蜡的去除工具的优选实施方式是,上述遮蔽部件具有作为切割去除附着在上述通路用槽的内侧壁的粘接用蜡的切刀的功能。

本发明的粘接用蜡的去除工具的另一优选实施方式是,遮蔽部件具有能够插入使上述通路用槽的位置一致地并列配置在支撑台上的多个被加工物固定用工具的一系列通路用槽中的长度。

另外,使用去除上述被加工物固定用工具中粘接用蜡的去除工具的本发明的粘接用蜡去除方法,包括:第一工序,利用上述去除工具的遮蔽部件来覆盖被加工物固定用工具的旋转切刀的通路用槽的槽底部;第二工序,使粘接用蜡附着在被加工物固定用工具的被加工物的固定面上;第三工序,支撑上述去除工具的支撑部件,从被加工物固定用工具的旋转切刀的通路用槽取下上述遮蔽部件,从而去除进入到该通路用槽中的上述粘接用蜡。

本发明的粘接用蜡去除方法的优选实施方式是,在上述第一工序中,在利用遮蔽部件覆盖被加工物固定用工具的旋转切刀的通路用槽的槽底部时,将遮蔽部件插入到使通路用槽的位置一致地并列配置的多个被加工物固定用工具中的一系列通路用槽中。

根据以上所述的本发明,可以易于从设置在被加工物固定用工具上的多个旋转切刀的通路用槽中去除粘接用蜡,使得在该通路用槽内部不存在涂敷有粘接用蜡的状态,可以抑制粘接用蜡对该旋转切刀表面的粘附及切割加工中的磨削阻力上升,从而可以高精度地加工被加工物。

附图说明

图1是将使用本发明的粘接用蜡去除工具、从通路用槽去除粘接用蜡的多个被加工物固定用工具并列配置在支撑台上的状态下的局部平面图。

图2是表示本发明实施例的粘接用蜡去除工具的局部平面图。

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