[发明专利]外观检查装置

权利要求书

1.一种外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有：周缘观察装置，其对支承在支承部上的工件的周缘部进行观察；和周缘照明装置，其对基于所述周缘观察装置的观察位置进行照明，所述周缘照明装置具有对位于观察位置的所述工件的周缘部进行照明的多个面光源，这些面光源以包围所述工件的周缘部的方式分别配置在位于观察位置的所述工件的周缘部的上方、下方和侧方。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

所述周缘观察装置具有配置在被所述面光源包围的空间内的光学部件，所述面光源具有比所述光学部件大的发光面。

3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，

所述面光源具有如下大小：各自投射的照明光可以到达利用所述周缘观察装置观察所述工件的周缘部时的观察位置。

4.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

在所述周缘观察装置中，最靠近所述工件的周缘部配置的光学部件配置成比所述多个面光源靠近所述工件的周缘部。

5.根据权利要求4所述的外观检查装置，其特征在于，

所述光学部件是反射镜。

6.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

该外观检查装置具有如下的所述面光源，即，所述面光源与所述周缘观察装置的光轴位置对准地设置有光可通过的间隙。

7.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

所述周缘照明装置具有一对棒照明，所述一对棒照明配置成夹着所述工件的上下。

8.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

所述周缘照明装置在所述工件移动时，能够利用臂退避以便不发生干涉，并且具有对观察位置进行点照明的斜照明。

9.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

该外观检查装置具有能够控制所述周缘照明装置的控制装置，该控制装置具有表，按照该表进行照明的切换，该表将在明视场和暗视场中分别点亮的照明和粗调光时的光量作为初始值来对应。

10.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

该外观检查装置具有能够控制所述周缘照明装置的控制装置，该控制装置具有存储了针对每个变焦倍率进行粗调光时的光量的数据的所述表。