[发明专利]具有暗电流校正的光电探测器有效
申请号: | 200810088075.4 | 申请日: | 2008-03-31 |
公开(公告)号: | CN101276827A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 陈范显;陈吉恩;陈文杰 | 申请(专利权)人: | 安华高科技ECBUIP(新加坡)私人有限公司 |
主分类号: | H01L27/144 | 分类号: | H01L27/144;H01L21/82;G01J1/18 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 电流 校正 光电 探测器 | ||
1.一种光电探测器,该光探测器包括:
衬底,其具有第一、第二和第三光电二极管,所述第一、第二和第三光电二极管分别产生第一、第二和第三光电二极管输出信号,每个光电二极管输出信号表示入射到相应光电二极管上的光强度;
第一颜料滤波器层,其覆盖所述第一光电二极管但不覆盖所述第二光电二极管,所述第一颜料滤波器层对于第一波长频带中的光是透光的,而对于第二波长频带中的光是不透光的;
第二颜料滤波器层,其覆盖所述第二光电二极管但不覆盖所述第一光电二极管,所述第二颜料滤波器层对于所述第二波长频带中光是透光的,而对于所述第一波长频带中的光是不透光的;
包括所述第一和第二颜料滤波器层的层,其覆盖所述第三光电二极管;以及
输出电路,其将所述第一和第三光电二极管输出信号结合来提供第一校正输出信号,并且将所述第二和第三光电二极管输出信号结合来提供第二校正输出信号。
2.如权利要求1所述的光电探测器,其中,所述输出电路从所述第一和第二光电二极管输出信号中减去是所述第三光电二极管输出信号的倍数的信号。
3.如权利要求1所述的光电探测器,其中,所述第一、第二和第三光电二极管的面积是所述光电二极管中的一个的面积的整数倍。
4.如权利要求1所述的光电探测器,还包括第四光电二极管和第三颜料滤波器层,所述第三颜料滤波器层覆盖所述第四光电二极管但不覆盖所述第一和第二光电二极管,所述第四光电二极管产生第四光电二极管输出信号,所述第四光电二极管输出信号表示入射到所述第四光电二极管上的光强度和独立于所述光强度的暗电流,其中,所述输出电路还将所述第三和第四光电二极管输出信号结合来提供第三校正输出信号。
5.如权利要求4所述的光电探测器,其中,所述第三校正输出信号被针对所述暗电流而校正。
6.如权利要求4所述的光电探测器,其中,所述第三颜料滤波器层还覆盖所述第三光电二极管。
7.如权利要求1所述的光电探测器,其中,所述光电二极管中的每一个在所述光电二极管没有接收到光的情况下产生暗电流,并且其中,所述第一和第二输出信号比所述第一和第二光电二极管输出信号更少地依赖于所述暗电流。
8.一种用于确定多个光谱频带的每一个中的光信号的光强度的方法,所述方法包括以下步骤:
提供第一、第二和第三光电二极管,所述第一、第二和第三光电二极管分别产生第一、第二和第三光电二极管输出信号,每个光电二极管输出信号表示入射到相应光电二极管上的光强度;
提供第一颜料滤波器层,所述第一颜料滤波器层覆盖所述第一光电二极管但不覆盖所述第二光电二极管,所述第一颜料滤波器层对于第一波长频带中的光是透光的,而对于第二波长频带中的光是不透光的;
提供第二颜料滤波器层,所述第二颜料滤波器层覆盖所述第二光电二极管但不覆盖所述第一光电二极管,所述第二颜料滤波器层对于所述第二波长频带中的光是透光的,而对于所述第一波长频带中的光是不透光的;
提供包括所述第一和第二颜料滤波器层的层,该层覆盖所述第三光电二极管;并且
将所述第一和第三光电二极管输出信号结合来提供对所述第一波长频带中的所述光强度的估计,并且将所述第二和第三光电二极管输出信号结合来提供对所述第二波长频带中的所述光强度的估计。
9.如权利要求8所述的方法,其中,所述第一、第二和第三光电二极管的面积是所述光电二极管中的一个的面积的整数倍。
10.如权利要求8所述的方法,还包括提供第四光电二极管和第三颜料滤波器层,所述第三颜料滤波器层覆盖所述第四光电二极管但不覆盖所述第一和第二光电二极管,所述第四光电二极管产生第四光电二极管输出信号,所述第四光电二极管输出信号表示入射到所述第四光电二极管上的光强度和独立于所述光强度的暗电流,所述第三颜料滤波器层在第三波长频带中是透光的,其中,所述方法还所述第三和第四光电二极管输出信号结合来提供对所述第三波长频带中的光强度的估计。
11.如权利要求10所述的方法,其中,所述对所述第三波长频带中的所述光强度的估计被针对所述暗电流而校正。
12.如权利要求10所述的方法,其中,所述第三颜料滤波器层还覆盖所述第三光电二极管。
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