[发明专利]有色光敏树脂组合物,使用其的彩色滤光器阵列和固态图像拾取装置无效
申请号: | 200810088579.6 | 申请日: | 2008-03-28 |
公开(公告)号: | CN101276145A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 宫芳子;前田兼作;名取太知 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社;索尼株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G02B5/23 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 庞立志;李炳爱 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有色 光敏 树脂 组合 使用 彩色 滤光 阵列 固态 图像 拾取 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种有色光敏树脂组合物,其可用于制造彩色滤光器阵列,所述彩色滤光器阵列将在用于使固态图像拾取装置(例如图像传感器等)和液晶显示器显色的装置上形成。
背景技术
对于使固态图像拾取装置和液晶显示器显色的彩色滤光器阵列来说,例如,已知这样的彩色滤光器阵列,其中红色滤光器层(R)、绿色滤光器层(G)和蓝色滤光器层(B)在所述装置的相同表面上彼此相邻地形成。适当地设置彩色滤光器阵列的各个滤光器层(R、G、B)的平面图案。对于滤光器层来说,除红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)的原色组合外,可以使用黄色(Y)、洋红色(M)和青色(C)的互补色的组合。
彩色滤光器阵列通常通过彩色抗蚀(color resist)方法制造,其中制备与相应的滤光器层对应的有色光敏树脂组合物并且然后通过依次使所述有色光敏树脂组合物曝光和显影而图案化。颜料被广泛地用作有色光敏树脂组合物中所含的着色剂。然而,颜料不溶于显影液中,因此它们对于形成精细图案来说是不利的。因而,建议了将染料用作可溶于显影液中的着色剂,参见例如JP-A-6-75375(参见第[0025]和[0026]段);JP-B-7-111485(参见第12、13和14栏);和JP-A-2002-14220(参见权利要求、现有技术部分、发明所要解决的问题部分、第[0020]段)。
然而,良好的光谱特性和良好的耐光性是彩色滤光器阵列所需要的,而JP-A-6-75375和JP-B-7-111485中所述的彩色滤光器阵列不能同时实现两种特性。例如,在JP-B-7-111485中所述的有色光敏树脂组合物中,在650nm波长下的透射率为约85%,而在535nm波长下的透射率为约0.6%,但是当将在650nm波长下的透射率控制到90%或以上时,在535nm波长下的透射率往往超过1%,因此光谱特性变得不足。
因而,JP-A-2002-14220提出了将特定的具有与其键合的芳基氨基的呫吨着色剂与吡唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)着色剂组合使用。当这些着色剂(或染料)以适当的比例使用时,可能将在535nm波长下的透射率控制到1%或以下以及将在650nm波长下的透射率控制到90%或以上。
根据最近固态图像拾取装置的图案微型化的趋势,滤光器图案的微型化变得必需。将滤光器图案微型化对于改进彩色滤光器阵列的光谱特性并且因此减小彩色滤光器阵列本身的厚度的有效的。
发明内容
本发明的目的是进一步改进有色光敏树脂组合物和彩色滤光器阵列的光谱特性。
为实现上述目标本发明人已经进行了深入的研究,并且发现,相比于如JP-A-2002-14220中所述的具有与其键合的芳基氨基的呫吨着色剂,具有与其键合的氨基或烷基氨基的特定的呫吨着色剂具备优异的光谱特性,并且因此已经完成了本发明。
因此,本发明提供了一种有色光敏树脂组合物,其包括光敏化合物、碱可溶性树脂和至少一种选自由式(I)表示的化合物和其盐的化合物(以下统称为“(烷基)氨基呫吨着色剂”):
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