[发明专利]光学式测定装置

说明书

技术领域

本发明涉及使放置在载物台上的测定对象物的光学图像在屏幕上成像的光学式测定装置。

背景技术

向放置在载物台上的测定对象物照射照明光，使来自该测定对象物的透射光或反射光在屏幕上扩大成像，根据该屏幕上被扩大成像的光学图像来测定测定对象物的尺寸和形状等的投影机等光学式测定装置被知晓。

例如载物台具备双轴线性编码器等的投影机，使在屏幕上成像的测定对象物的光学图像测定对象部(例如边缘部)与屏幕上的基准点对准，通过读取这时载物台的平面坐标就能测定测定对象物的尺寸和形状。

这种光学式测定装置在想记录光学图像时，一般是采用通过银盐式照相机和数码相机等摄影装置把成像有光学图像的屏幕原封不动地进行摄影的方法。

文献1(特开平5-264216号公报)公开了通过设置在屏幕内侧的专用照相摄影装置而能摄影光学图像一部分的投影机。

但使用相机等摄影装置的方法有可能随摄影装置的机器种类、照明和摄影方法等条件和摄影者的不同而产生记录图像的差异。需要摄影时，在光学式测定装置之外还需要准备相机等摄影装置，有可能使操作变烦杂。

上述文献1记载的投影机需要在屏幕的内侧设置专用的照相摄影装置，在摄影时不能辨认光学图像整体。因此，难于同时实施摄影和测定。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种不准备另外的摄影装置就能在测定的同时记录光学图像的光学式测定装置。

本发明的光学式测定装置具备：屏幕、能移动的载物台、把光向所述载物台上放置的测定对象物照射的照明机构、检测所述载物台移动量的检测机构、把放置在所述载物台上的测定对象物的光学图像在所述屏幕上成像的第一成像机构和第二成像机构、利用所述第一成像机构和所述第二成像机构的任一个把所述光学图像在所述屏幕上成像进行切换的切换机构、记录所述光学图像的记录机构，其中，所述第一成像机构具备：对所述光学图像进行摄像的摄像机构、把所述摄像机构摄像的所述光学图像作为数字形式的图像数据输出的输出机构、根据所述输出机构输出的所述图像数据把所述光学图像向所述屏幕进行投影的投影机构，所述第二成像机构具备：把被所述照明机构照射并被所述测定对象物反射或透射所述测定对象物的光向所述屏幕投影的投影透镜，所述记录机构记录所述第一成像机构的所述输出机构输出的所述图像数据。

根据本发明，输出机构把第一成像机构的摄像机构所摄像的测定对象物的光学图像作为数字形式的图像数据进行输出。投影机构根据该图像数据而把光学图像向屏幕投影，记录机构记录图像数据。

在此，只要图像数据被记录，就能从图像数据得到测定对象物的光学图像。即也可以说记录机构达成光学图像的记录。

由于图像数据的记录是由光学式测定装置设置的记录机构来实施，所以不需要另外准备摄影装置或把照相摄影装置附加在光学式测定装置上。因此，由摄影条件和摄影者的不同而在记录的光学图像上产生差异的可能性低。由于不像上述文献1那样需要在屏幕的内侧设置专用的照相摄影装置，所以不会被照相摄影装置妨碍投影机构的投影而不能确认光学图像的整体。

因此，本发明的光学式测定装置能不准备另外的摄影装置地在测定的同时来记录光学图像。

在此，具备屏幕和第一成像机构的本发明光学式测定装置，具有通过与现有所谓的投影机进行同样的操作就能进行测定的优点。

根据本发明，通过使用切换机构选择的第一成像机构和第二成像机构的任一个就能把光学图像在屏幕上成像。

在此，第二成像机构具备把来自测定对象物的光向屏幕投影的投影透镜，具有与现有所谓的投影机设置的光学系统同样的结构。因此，在使用第二成像机构实施测定时，以与现有投影机同样的操作就能测定被测定物的尺寸和形状等。

在使用第二成像机构的测定中当需要记录光学图像时，使用切换机构就能简单地切换成第一成像机构，能记录光学图像。

在使用第一成像机构时，由于是把光学图像切换成图像数据输出，把输出的图像数据再返回到光学图像进行显示，所以有把色调、亮度等微妙的不同等失去的情况，但第二成像机构不进行光学图像的切换，所以有能把色调、亮度等微妙的不同原封不动进行显示的优点。

本发明的所述投影机构优选具备：根据所述图像数据把所述光学图像进行显示的液晶板和向所述液晶板照射光的光源，利用从所述光源照射并被所述液晶板反射或透射所述液晶板的光把所述光学图像向所述屏幕投影。

根据这种结构，投影机构利用从光源照射并被液晶板反射或透射液晶板的光把测定对象物的光学图像向所述屏幕投影。