[发明专利]氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法

权利要求书

1、一种氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，在氧化锌类非晶质薄膜用的溅射靶材中，所述溅射靶材具有In_xGa_yAl_1-yO₃(ZnO)_T的组成，其中x+y＝1、x∶y＝1∶0.01～100、T＝0.1～5。

2、根据权利要求1所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，所述溅射靶材具有In_xGa_yAl_1-yO₃(ZnO)_T的组成，其中x+y＝1、x∶y＝1∶0.01～10、T＝0.1～5。

3、根据权利要求1所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，所述溅射靶材可以进行DC溅射。

4、根据权利要求1所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，对于所述溅射靶材，电阻率显示20Ω·cm以下的值。

5、根据权利要求1所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，所述溅射靶材中，In、Ga、Al和Zn的凝聚体为1μm以下。

6、根据权利要求1所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，对于所述溅射靶材，成膜时的非晶质薄膜的载流子浓度显示10¹⁶～10¹⁸/cm³的值。

7、根据权利要求1所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，对于所述溅射靶材，成膜时的非晶质薄膜的电子迁移率显示1～10cm²/V·s的值。

8、一种氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材的制造方法，其特征在于，在氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材的制造方法中，包括下述步骤：

向含有In₂O₃、Ga₂O₃、Al₂O₃、ZnO的原料物质中添加分散剂，进行湿法研磨形成浆料；

向所述浆料中添加粘结剂，进行喷雾干燥形成颗粒粉末；

将所述颗粒粉末挤压成型并烧结，形成具有In_xGa_yAl_1-yO₃(ZnO)_T的组成的溅射靶材，其中x+y＝1、x∶y＝1∶0.01～100、T＝0.1～5。

9、根据权利要求8所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材的制造方法，其特征在于，在所述形成浆料的步骤中，将含有In₂O₃、Ga₂O₃、Al₂O₃、ZnO的原料物质全部混合，使用约0.5wt％的分子量3000的聚丙烯酸铵盐作为分散剂。

10、根据权利要求8所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材的制造方法，其特征在于，在所述形成浆料的步骤中，作为分散剂分别对所述原料物质In₂O₃使用0.5～1.5wt％的聚丙烯酸铵盐，对Ga₂O₃使用0.8～2.0wt％的聚丙烯酸铵盐，对Al₂O₃使用0.5～1.0wt％的聚丙烯酸铵盐，对ZnO使用0.1～0.5wt％的聚丙烯酸铵盐，分散后进行混合。

11、根据权利要求10所述的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材的制造方法，其特征在于，在所述形成浆料的步骤中，作为分散剂分别对所述原料物质In₂O₃使用0.8wt％的分子量5000的聚丙烯酸铵盐，对Ga₂O₃使用1.0wt％的分子量2000的聚丙烯酸铵盐，对Al₂O₃使用0.8wt％的分子量5000的聚丙烯酸铵盐，对ZnO使用0.3wt％的分子量3000的聚丙烯酸铵盐，分散后进行混合。