[发明专利]制造光学器件的方法无效
申请号: | 200810089238.0 | 申请日: | 2008-04-25 |
公开(公告)号: | CN101295072A | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
发明(设计)人: | 小林秀;根岸彻;织田卓哉;坂口秀明 | 申请(专利权)人: | 新光电气工业株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;H01L23/02 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈源;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 光学 器件 方法 | ||
本申请基于2007年4月26日所提交的日本专利申请第2007-117213号,并且要求其优先权,在此,通过引用将其全部内容并入本文。
技术领域
本公开文献涉及一种光学器件,更具体地,本公开文献涉及一种在投影仪、光学开关、条形码读出器、复印机等中使用的光学器件。
背景技术
图1中所示的光学器件100被内置于诸如投影仪、光学开关、条形码读出器、复印机等的装置中。
图1是相关技术中的光学器件的截面图。在图1中,J表示从光源111发出的光的传播方向,K表示被反射镜114反射的光的传播方向。
参考图1,相关技术中的光学器件100具有框架101、半透明构件102、遮光构件103、抗反射(AR)涂层104和105、反射镜元件108、以及气密构件109。
框架101具有用于装配半透明构件102的装配部分112。装配部分112被形成为穿过框架101。提供框架101来支撑半透明构件102。
将半透明构件102装配进框架101的装配部分112。半透明构件102被布置成与提供给反射镜元件108的多个反射镜114相对。半透明构件102使从光源111发出的光透射,并且将由多个反射镜114反射的光发射至光学器件100的外部。
遮光构件103被形成为从半透明构件102的下表面102B延伸至框架101的下表面101B。将遮光构件103形成为相框形状,遮光构件103具有开口116。对开口116进行布置,从而使得通过半透明构件102所透射的光穿过开口到达多个反射镜114。将开口116形成为使得其宽度从半透明构件102的下表面102B向外延伸。与开口116的侧表面对应的遮光构件103的一部分被成形为倾斜表面117。与倾斜表面117对应的遮光构件103的一部分防止了从光源111发出的光经由遮光构件103到达反射镜114。将遮光构件103的倾斜表面117相对于遮光构件103的表面103A(遮光构件103上与半透明构件102的下表面102B接触的表面)的倾斜角θx设置为给定角度(例如,30度)。当此倾斜角θx与给定角度不同时,由多个反射镜114反射的光(投影光)形成的图像的投影画面是模糊的。因此,形成开口116,从而将倾斜角θx设置为给定角度,这是非常重要。
提供遮光构件103,从而限制了被多个反射镜114反射的光的反射区域,并且还将从光源111发出的光直接提供至多个反射镜114上。换句话说,遮光构件103可作为由多个反射镜114所反射的光(投影光)形成的图像的投影画面,并且防止了在由多个反射镜114反射的光(投影光)中产生噪声(光散射)。
对于遮光构件103,例如,可以采用通过依次布置Cr层、CrxOy层和Cr层而形成的Cr/CrxOy/Cr多层薄膜。例如,可以将Cr/CrxOy/Cr多层薄膜的厚度设置为170μm。
涂敷AR涂层104,以覆盖半透明构件102的上表面102A。涂敷AR层104,以防止半透明构件102的上表面102A反射从光源111发出的光。
涂敷AR涂层105,以覆盖半透明构件102的下表面102B从开口116暴露出来的一部分和遮光构件103。涂敷AR涂层105,以防止这种情形:半透明构件102的下表面102B反射被多个反射镜114反射的光。
反射镜元件108经由AR涂层105固定至框架101。反射镜元件108具有多个反射镜114。反射镜114用于将从光源111发出的光经由半透明构件102和AR涂层104、105反射到光学器件100的外部。在反射镜元件108和AR涂层105对应于形成开116的区域的部分之间形成间隔L。间隔L使多个反射镜114能够移动,而不会与AR涂层105接触。布置在AR涂层105和反射镜元件108之间的气密构件109以气密方式将间隔L密封起来。
图2至图8是示出制造相关技术的光学器件的步骤的视图。在图2至图8中,相同标号被附加给与图1所示的相关技术的光学器件100的组成部分相同的组成部分。
以下,参考图2至图8,将描述制造相关技术的光学器件100的方法。首先,在图2所示的步骤中,把半透明构件102插入框架101的装配部分112,于是,此半透明构件102被放至框架101。
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