[发明专利]检测装置及其影像照明度补偿方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测装置及其影像照明度补偿方法，且特别是涉及可确保影像照明度的检测装置及其影像照明度补偿方法。

背景技术

随着信息、通信产业不断地推陈出新，带动了半导体和光电产业的蓬勃发展。一般半导体与TFT-LCD厂的产品制造与检测过程通常是分开进行的，也就是说先由生产机台加工完成之后，再送至测量机台进行检测的工作。

以平面显示器(例如：TFT-LCD)为例，在平面显示器的制造过程中，面板(玻璃基板)的表面须经过检测以确保质量和减少废片的产生，而目前所使用的检测方式包括有光学检测、电性检测和目视检测，其中光学检测是以光学方法取得面板的表面状态，以影像处理来检查出异物、刮伤、破裂或图案异常等瑕疵。

当进行光学检测时，一般可透过检测设备的显微镜来撷取面板的光学影像，以检测面板的表面状态。通常检测设备是设置多光源(灯泡)来照射面板，以取得影像，此时，检测设备的光源需维持一致的亮度，以确保检测质量。然而，检测设备的光源在长期使用或更换灯泡后，容易发生亮度衰减或亮度不一致的情形，导致检测异常或检测准确度下降。

再者，虽然目前已有利用加装传感器来回馈补偿光源亮度的方法，其可在亮度衰减时增加电流或更换灯泡来维持光源的亮度。然而，此方法的亮度准确度不高，且增加检测设备的硬件成本(需加装传感器)。

发明内容

本发明的所要解决的技术问题在于一种检测装置及其影像照明度补偿方法，通过调整光源的光源强度来确保检测装置所撷取的影像具有一致的影像照明度。

本发明的另一目的在于提供一种检测装置及其影像照明度补偿方法，通过利用影像照明度来作为检测装置的光源强度调整依据，因而减少额外的硬件成本。

为了实现上述目的，本发明提供了一种检测装置的影像照明度补偿方法，其中检测装置设有至少一光源，用以照射一标的物的表面，检测装置在光源的照射下撷取至少一影像，以进行检测，影像照明度补偿方法至少包含：提供至少一标准灰度值；建立一照明度关系，其中照明度关系是根据光源的光源强度与影像的灰度值之间的相对关系；以及根据照明度关系与标准灰度值来调整光源的光源强度，以使影像的灰度值实质相同于标准灰度值。

为了实现上述目的，本发明还提供了一种检测装置的影像照明度补偿方法，其中检测装置设有一第一光源和一第二光源，用以照射一标的物达的表面，检测装置是在第一光源和第二光源的照射下撷取至少一影像，以进行检测，影像照明度补偿方法至少包含：提供至少一第一标准灰度值和一第二标准灰度值；建立一第一照明度关系和一第二照明度关系，其中第一照明度关系是根据第一光源的光源强度与影像的灰度值之间的相对关系，第二照明度关系是根据第二光源的光源强度与影像的灰度值之间的相对关系；根据第一照明度关系与第一标准灰度值来调整第一光源的光源强度，以使影像的灰度值实质相同于第一标准灰度值；以及根据第二照明度关系与第二标准灰度值来调整第二光源的光源强度，以使影像的灰度值实质相同于第二标准灰度值。

为了实现上述目的，本发明又提供了一种检测装置，用以检测一标的物的表面，其中检测装置至少包含至少一光源、影像撷取模块及光源校正模块。光源设置于标的物的一侧，用以照射标的物的表面。影像撷取模块对应于标的物的表面来设置，用以在光源的照射下撷取至少一影像，以进行检测。光源校正模块电性连接于光源，并储存有一照明度关系与一标准灰度值，光源校正模块是用以根据一照明度关系与至少一标准灰度值来调整光源的光源强度，以使影像的灰度值实质相同于标准灰度值，其中照明度关系是根据光源的光源强度与影像的灰度值之间的相对关系来建立。

因此，本发明的检测装置及其影像照明度补偿方法可确保检测装置所撷取的影像具有一致的影像照明度，进而确保检测装置的检测准确性，且可减少额外的硬件成本。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

为让本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的详细说明如下：

图1是依照本发明的实施例的检测装置的结构示意图；

图2是依照本发明的实施例的光源校正模块的结构示意图；

图3是依照本发明的实施例的影像照明度补偿方法的方法流程图；

图4是依照本发明的实施例的标准光源强度与标准灰度值的对应关系图；

图5是依照本发明的实施例的多光源标准灰度值表；

图6是依照本发明的实施例的光源强度与灰度值的对应关系图；

图7是依照本发明的实施例的光源强度与灰度值的关系对照图。

主要组件符号说明：