[发明专利]多激光系统

权利要求书

1.一种多激光系统，包括：

发射第一激光束的第一激光振荡器；

发射第二激光束的第二激光振荡器；

接收由第一激光振荡器发射的第一激光束并将该入射的第一激光束反射到要被加工的基片上的希望位置的第一扫描器对；

接收由第二激光振荡器发射的第二激光束并将该入射的第二激光束反射到要被加工的基片上的希望位置的第二扫描器对；和

扫描透镜，所述扫描透镜接收已经从第一和第二扫描器对反射的激光束，将接收的激光束聚焦在具有预定直径的光斑上从而将光斑照射在基片上；

第一往复运动单元和第二往复运动单元，所述第一和第二往复运动单元分别在第一和第二激光束的射束路径上并分别位于第一激光振荡器与第一扫描器对之间以及第二激光振荡器与第二扫描器对之间；所述往复运动单元每一个都包括用于完全阻止入射激光束的射束阻止单元，用于完全允许入射激光束透射的射束透射单元，和用于改变射束阻止单元和射束透射单元中的一个的位置以使得激光束入射在射束阻止单元和射束透射单元中的一个上的运输装置。

2.如权利要求1所述的多激光系统，进一步包括：

第一分离单元，所述第一分离单元接收第一激光束并且将接收的第一激光束分离成两条第一激光束，使得两条第一激光束能够分别沿两条第一路径前进；和

第二分离单元，所述第二分离单元接收第二激光束并且将接收的第二激光束分离成两条第二激光束，使得两条第二激光束能够分别沿两条第二路径前进；

第三扫描器对和第四扫描器对，所述第一、第二、第三、第四扫描器对分别接受四条激光束，即两条第一激光束和两条第二激光束，并将相应的入射的激光束反射到要被加工的基片上的希望位置；

第三往复运动单元和第四往复运动单元，所述第一、第二、第三、第四往复运动单元分别对应所述第一、第二、第三、第四扫描器对，并分别处于在相应的分离单元和相应的扫描器对之间。

3.根据权利要求2所述的多激光系统，其中：所述第一分离单元和所述第二分离单元中的每一个都包括射束分裂器，所述射束分裂器反射50％的入射激光束并且透射剩下50％的入射激光束。

4.根据权利要求1所述的多激光系统，其中所述第一激光振荡器和所述第二激光振荡器发射波长彼此不同的激光束。

5.根据权利要求1所述的多激光系统，其中所述第一激光振荡器和所述第二激光振荡器发射脉冲宽度彼此不同的激光束。