[发明专利]显影喷嘴结构及喷涂显影液的方法有效
申请号: | 200810091401.7 | 申请日: | 2008-04-14 |
公开(公告)号: | CN101251721A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 何松勋;张耿志 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;H01L21/00;H01L21/84 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 任默闻 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 喷嘴 结构 喷涂 显影液 方法 | ||
1.一种显影喷嘴结构,其特征在于,所述显影喷嘴结构包括:
一喷嘴腔体,具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管的一端经由所述第一室延伸进入所述第二室以供应显影液注入所述第二室内,以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管;以及
一闸门装置,设置于所述第一室与所述第二室之间,在所述闸门装置开启时,显影液中的气泡进入并集中于所述第一室,在所述闸门装置关闭时,所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离,且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂;
一气泡排放管,其与所述第一室连通,在所述闸门装置关闭时,所述第一室中的气泡经由所述气泡排放管向外排放。
2.如权利要求1所述的显影喷嘴结构,其特征在于,所述显影喷嘴结构还包括一辅注入管,其与所述第一室连通且供应显影液注入所述第一室,以协助排放所述第一室的气泡。
3.如权利要求2所述的显影喷嘴结构,其特征在于,所述注入管、所述辅注入管与所述气泡排放管的开启与关闭是利用电磁阀控制。
4.如权利要求1所述的显影喷嘴结构,其特征在于,所述闸门装置为电磁阀。
5.如权利要求3或4所述的显影喷嘴结构,其特征在于,所述电磁阀的启闭时序系利用可编程控制元件依据预设的参数控制。
6.如权利要求1所述的显影喷嘴结构,其特征在于,所述第二室内部进一步具有多个挡板用于防止第二室的显影液自喷涂管向外喷涂时将显影液内的气泡一并带出。
7.一种喷涂显影液的方法,运用于一显影喷嘴,且所述显影喷嘴具有一第一室、位于其下的一第二室、位于所述第二室下方且与所述第二室连通的一喷涂管以及一闸门装置设置于第一室与第二室之间,其特征在于,所述方法包括下列步骤:
使显影液充满所述第一室与所述第二室且使所述闸门装置为开启状态,使所述第二室内显影液的气泡进入并集中于所述第一室;
当感应到一面板时,关闭所述闸门装置;
控制显影液注入所述第二室,且所述第二室的显影液与所述第一室中的气泡隔离;以及
控制所述第二室的显影液自所述喷涂管向外喷涂所述面板,当显影液喷涂完成时,控制显影液停止注入所述第二室;
利用一气泡排放管使所述第一室中的气泡经由所述气泡排放管向外排放。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述气泡排放管是利用电磁阀控制以向外排放气泡或停止排放气泡。
9.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述控制显影液注入或停止注入所述第一室及所述第二室是利用电磁阀控制。
10.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述闸门装置为电磁阀。
11.如权利要求8、9或10所述的方法,其特征在于,所述各电磁阀的启闭时序是利用可编程控制元件依据预设的参数来控制。
12.如权利要求7所述的方法,其特征在于,于控制显影液注入所述第二室时还包括控制显影液注入所述第一室以排放所述第一室的气泡。
13.如权利要求12所述的方法,其特征在于,于显影液喷涂完成前还包括控制显影液停止注入所述第一室。
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