[发明专利]相位差测量方法及装置

权利要求书

1.一种根据依次配置有光源、偏振器、试样、检偏器和分光器的光学系中测量到的分光光谱确定该试样的相位差的方法，包括以下过程：准备未受该试样的相位差影响的该试样的分光光谱数据；对使该偏振器的透射轴、该试样的光学轴和该检偏器的透射轴的配置为检测该试样的相位差的配置而测量的至少一个分光光谱进行测量；用上述分光光谱数据修正上述分光光谱。

2.一种根据依次配置有光源、偏振器、试样、检偏器和分光器的光学系中测量到的分光光谱确定该试样的相位差的方法，包括以下过程：(1)使偏振器与检偏器为平行偏光配置，并且使偏振器的透射轴与试样的光学轴的夹角为0°或90°，测量分光光谱；(2)使偏振器与检偏器为平行偏光配置或正交偏光配置，并且使试样的光学轴与偏振器的透射轴的夹角为45°，测量分光光谱；(3)用(2)中获得的光谱修正(1)中获得的光谱。

3.如权利要求2所述的方法，通过用(2)中获得的光谱在波长λ的透射率去除(1)中获得的光谱在该波长λ的透射率来进行修正。

4.一种相位差测量装置，其包括依次配置有光源、偏振器、试样台、检偏器和分光器的光学系以及用下述(11)修正(12)的单元：(11)配置在试样台上的未受试样的相位差影响的该试样的分光光谱数据；(12)使偏振器与检偏器为平行偏光配置或正交偏光配置，并且使配置在试样台上的试样的光学轴与偏振器的透射轴的夹角为45°而测量的分光光谱。

5.一种相位差测量装置，其包括依次配置有光源、偏振器、试样台、检偏器和分光器的光学系以及用下述(21)修正(12)的单元：(21)使偏振器的透射轴、配置在试样台上的试样的光学轴和该检偏器的透射轴的配置为不检测该试样的相位差的配置而测量到的分光光谱；(12)使偏振器与检偏器为平行偏光配置或正交偏光配置，并且使配置在试样台上的试样的光学轴与偏振器的透射轴的夹角为45°而测量的分光光谱。

6.一种相位差测量装置，其包括依次配置有光源、偏振器、试样台、检偏器和分光器的光学系以及用下述(31)修正(12)的单元：(31)使偏振器与检偏器为平行偏光配置，并且使偏振器的透射轴与配置在试样台上的试样的光学轴的夹角为0°或90°而测量的分光光谱；(12)使偏振器与检偏器为平行偏光配置或正交偏光配置，并且使配置在试样台上的试样的光学轴与偏振器的透射轴的夹角为45°而测量的分光光谱。

7.如权利要求4～6中的任一项所述的相位差测量装置，还包括用柯西色散公式拟合上述(12)的单元。

8.如权利要求4～7中的任一项所述的相位差测量装置，在上述光学系的偏振器与检偏器之间配置有波长板。

9.如权利要求8所述的相位差测量装置，在测量波长区域内的2个以上的波长的每一个中，用0.5以上的整数或半整数去除上述波长板的延迟值的值与该波长一致。