[发明专利]有源矩阵基板、其制造方法、电光装置、其制造方法及电子设备有效
申请号: | 200810092381.5 | 申请日: | 2008-04-24 |
公开(公告)号: | CN101295680A | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
发明(设计)人: | 守谷壮一;川濑健夫;宫本勉;中村洁 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L21/768;H01L27/28;H01L27/12;H01L23/522;G02F1/167 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 陈海红;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有源 矩阵 制造 方法 电光 装置 电子设备 | ||
1.一种有源矩阵基板的制造方法,该有源矩阵基板包括:基板;多根源 线;多根栅线;多个像素电极;以及对应于上述多个像素电极中的一个像 素电极而设置的薄膜晶体管;上述薄膜晶体管电连接于上述多根源线中的 一根源线和上述多根栅线中的一根栅线,该方法的特征在于,包括:
第1步骤,其中,通过有机导电性材料,形成与上述多根源线及上述多 根栅线的任意一方同一层的、且使上述多根源线和上述多根栅线相互导通 的导通部;和
通过采用强酸的氧化反应使得上述导通部的上述有机导电性材料的至 少一部分成为劣化状态,由此使之改性为绝缘性来断开上述导通部的导通 的第2步骤。
2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板的制造方法,其特征在于,在上 述第1步骤中,通过印刷法形成上述导通部。
3.一种有源矩阵基板的制造方法,该有源矩阵基板包括:基板;多根源 线;多根栅线;多个像素电极;以及对应于上述多个像素电极中的一个像 素电极而设置的薄膜晶体管;上述薄膜晶体管电连接于上述多根源线中的 一根源线和上述多根栅线中的一根栅线,该方法的特征在于,包括:
在作为导电部的基板上,形成绝缘层的第3步骤;
在上述绝缘层上形成上述多根源线和上述多根栅线的第4步骤;
使上述多根源线和上述多根栅线,经由接触部与上述导电部导通的第5 步骤;以及
将上述多根源线和上述多根栅线的导通断开的第6步骤。
4.一种有源矩阵基板,其包括:
基板;
多根源线;
多根栅线;
多个像素电极;以及
对应于上述多个像素电极中的一个像素电极而设置的薄膜晶体管;
上述薄膜晶体管电连接于上述多根源线中的一根源线和上述多根栅线 中的一根栅线;
该有源矩阵基板的特征在于:
具备将上述多根源线和上述多根栅线相互连接的连接部;
上述连接部是已通过采用强酸的氧化反应使得有机导电性材料的至少 一部分成为劣化状态来使其改性为绝缘性的部分。
5.一种有源矩阵基板,其包括:
作为导电部的基板;
形成于上述基板上的绝缘层;
形成于上述绝缘层上的多根源线和多根栅线;
形成于上述绝缘层上的多个像素电极;以及
对应于上述多个像素电极中的一个像素电极而设置的薄膜晶体管;
上述薄膜晶体管电连接于上述多根源线中的一根源线和上述多根栅线 中的一根栅线;
该有源矩阵基板的特征在于,包括:
接触部,该接触部设置于上述绝缘层,用于经由上述导电部使上述多 根源线和上述多根栅线相互导通;以及
切断部,该切断部切断上述多根源线和上述多根栅线的导通。
6.一种电光装置,其特征在于,具有在权利要求4或5所述的有源矩阵 基板和对向基板之间夹持有电光材料的显示元件。
7.一种电子设备,其特征在于,包括权利要求6所述的电光装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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