[发明专利]狭缝式涂布机的涂布液供应装置

说明书

技术领域

本发明涉及狭缝式涂布机的涂布液供应装置，尤其涉及抽吸填充于储藏罐中的涂布液供应给狭缝式涂布机的狭缝式涂布机的涂布液供应装置。

背景技术

通常，在光刻工艺中均匀涂布光阻材料(PR：以下称为涂布液)的方法包含：将涂布液加载于圆形滚轮的外部之后，在基板上向着一定的方向滚动所述滚轮，由此将涂布液涂布到基板上面的滚涂方法；将基板放置在圆盘支撑体上面，在所述基板的中央滴落涂布液之后进行转动，从而利用离心力在基板上进行涂布的旋转涂层方法；通过狭缝形态的喷嘴在基板上喷出涂布液的同时按照一定的方向扫掠而进行涂布的狭缝涂层方法。

但是，基板越大越重，高速转动基板就越困难。而且在高速转动基板时存在基板破损和能量消耗大的问题，因此液晶显示面板用玻璃基板等平板显示装置用基板上主要使用狭缝涂层方法。

用于进行所述狭缝涂层的狭缝涂层装置包含：用于安装基板的基板夹盘；设置在所述基板夹盘一侧的预喷出部；位于所述基板夹盘及预喷出部的上部进行水平移动的在基板上喷出涂布液的狭缝喷嘴。即，狭缝喷嘴在预喷出部的上部进行预喷出之后，向安装了基板的基板夹盘侧水平移动，而为了使涂布液均匀地分布在基板上，狭缝喷嘴匀速移动并喷出涂布液。

图1及图2是根据已有技术的具备超声波清洗装置的基板涂层装置的侧面图及立体图。

由图可知，已有技术的基板涂层装置包含：涂布部200；喷嘴部100；具备超声波清洗装置的预喷出部300。

涂布部200包含：在底座400的上面以具备高度调整机构的支架为媒介设置在中心部并形成了多个上下贯通的贯通孔的台子210；可以在所述底座400和台子210之间升降并在上面设置了多个顶针220的水平板230。

所述多个顶针220插入于所述台子210的贯通孔内，随着所述水平板230的升降，或者突出于所述台子210的上部，或者退到所述台子210的内部。由此，所述多个顶针220具有从台子210上提升基板或者降下基板的作用。

同时，底座400上面的左右两侧，即在所述台子210左右外侧，配备了在纵向上延伸而成的一对长导轨240。所述一对导轨240上分别设置了移送装置250进行纵向移动。

在所述一对移送装置250之间支撑着横跨所述台子210的将涂布液等涂层剂喷出到玻璃等基板500上进行涂布的喷嘴部100。所述喷嘴部100的狭缝喷嘴110呈在横向左右方向延伸而成的杆(bar)状，通常大于基板的左右宽度。

所述狭缝喷嘴110下面形成沿所述横向上延伸的微细的喷出口120，以喷出涂布液。通过所述线形的喷出口120可以在基板500上喷出一定量的涂布液。

而且，所述移送装置250在支撑所述喷嘴部100的两侧的状态下，以一定的速度沿纵向移动，由此在台子210上移动喷嘴部100。同时，所述移送装置250可以在垂直方向上调整喷嘴部100的高度，对应涂布液的量和粘度，可以精细地控制所述狭缝喷嘴110的输出口120和基板500之间的间距。

另外，给所述喷嘴部100提供涂布液的装置包含：设置在所述移送装置250一侧的涂布液供应部130；连通所述涂布液供应部130和狭缝喷嘴110之间的第1供应管路140；从外部供应源(未图示)给所述涂布液供应部130提供涂布液的第2供应管路150。

通过第2供应管路从所述外部供应源给涂布液供应部130提供涂布液。涂布液供应部130利用设置在其内部的泵给涂布液施加预定的压力，以使涂布液经过第1供应管路140供应到狭缝喷嘴110之后，以预定的压力从狭缝喷嘴110的喷出口120喷出。

在所述涂布部200的一侧配备了预喷出部300。即，所述预喷出部300沿着喷嘴部100的移动方向设置，且位于所述喷嘴部100的下部。

所述预备输出部300由机架310和位于所述机架310内部的预涂滚子320构成。

但是，如上所述的已有技术的狭缝式涂布机的涂布液供应部130由气缸及活塞结构的加压泵(未图示)构成，并将加压泵垂直设置在底座400的上部，因此如果所处的环境是在室内，则由于天花板高度的限制，在空间上会受到制约。

即，活塞的前进、后退行程将会受到空间的限制，因而很难增大加压泵的容量。

而且，如果将已有技术的加压泵不合理地设置在水平方向上使用，则气缸内的气泡会被关在内部而无法排出到外部，由此发生硬化涂布液的问题，最终引发无法使用整个加压泵的严重问题。