[发明专利]一种制备聚合物光波导的方法

权利要求书

1.一种制备聚合物光波导的方法，其步骤包括：

(1)在Si衬底上旋涂厚度为5～8μm的聚合物材料作为下包层，或者在Si衬底上生长一层厚度为5～8μm的SiO₂作为下包层，聚合物材料的折射率为1.4～1.6；

(2)采用专用直写装置根据所设计的芯层图案按照轨迹将另一种聚合物材料直写在下包层上；所述专用直写装置的结构为：气源通过气管与压力控制装置相连，压力控制装置通过施压气管与微细笔相连，压力控制装置用于控制施压气管中气流的通断和调节气压大小，并向微细笔的储料腔中的浆料提供所需的压力；压力控制装置接通时，向微细笔的笔筒内施压，使浆料从笔尖流出；断开时泄掉微细笔笔筒内的压力，由于笔尖的毛细作用而使浆料及时停止流出，当微细笔在基板上移动时，笔尖便在基板上写下所需图案和线宽的光波导；

(3)在真空条件下，将步骤(2)中的所述另一种聚合物材料加热使其发生交联反应，固化形成芯层；步骤(2)中的所述另一种聚合物材料的粘度范围为2Pa·s～200Pa·s，其折射率大于下包层材料的折射率；

(4)采用空气作为上包层，或以折射率低于芯层的材料在芯层上旋涂形成上包层。