[发明专利]化学过滤网的吸附装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明是有关一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，尤指一种由上胶、贴覆滤网、加热粘固及充填吸附剂等步骤而制成的吸附装置，使具易于制作、可重复使用吸附装置，以及增加吸附剂含量，进而可提升吸附及过滤效果，达到环保及降低成本的目的，而适用于各式化学过滤网结构的吸附装置的制造。

背景技术

随着半导体技术不断的进步，使集成电路工艺线径不断的缩小，相对提高其制作环境的要求。因为，外部空气或无尘室内中含微污染(AMC：Airborne Molecular Contamination)物质对于工艺良率的影响日益扩大，为了提升工艺良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装化学过滤网结构。

如图7所示，是为现有的化学过滤网结构的立体外观示意图，其是为一具有进风口与出风口的框体，而该框体内的进风口与出风口之间是结合固定有滤网，该滤网是以二层不织布A包夹一吸附剂与热融胶粉的混合物B形成一三明治结构，并经由加热后，令热融胶粉因遇热融化而使吸附剂(如：活性碳粉等)粘合固定于二层不织布A之间，且该不织布A的外层又设有一层细网(如：铁网)，以供固定结构用。然，现有制法，该二层不织布A内除了容置有吸附剂外，尚有热融胶粉；故，使得该二层不织布A内可容置的吸附剂的含量降低了，进而令整体结构的吸附、过滤的效果相对打折扣。因为，受限于现有结构是采固定结合滤网的方式，而当吸附剂在吸附饱和后，有吸附剂不易更新、置换的问题，也间接提高了化学过滤网结构的耗费成本；故，实际使用上，仍有不尽理想之处。

有鉴于此，本案发明人以从事该项事业多年的经验，并精心研究以求改进，是为本发明所欲研创的创作动机。

发明内容

本发明的主要目的，是在提供一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，由上胶、贴覆滤网、加热粘固及充填吸附剂的制作步骤而制成的吸附装置，使具易于制作，并使热融胶粉不再占用可容置吸附剂的空间而增加了吸附剂的含量，提高吸附与过滤微污染(AMC)物质的效果，以增进整体的实用性。

本发明的次一目的，是在提供一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，由该吸附装置的支撑结构上进一步设有一启闭机构，使吸附剂可更换，令吸附装置可重复使用，并使该取出的经过吸附饱和后的吸附剂可回收再利用，而达到环保及降低成本的目的，以增进整体的实用性、环保性及经济性。

为达成上述目的，本发明是提供一种化学过滤网的吸附装置的制造方法，其特征在于，其包括有下列步骤：

步骤一、上胶：在吸附装置的支撑结构表层上涂布热融胶；

步骤二、贴覆滤网：将至少一滤网覆盖于吸附装置的支撑结构的表层上，而使支撑结构内形成容置空间；

步骤三、加热粘固：利用加热方式使吸附装置的支撑结构及其外侧表层上的滤网相互粘合；以及

步骤四、充填吸附剂：将吸附剂填入并封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

其中该吸附装置的支撑结构的上、下二侧表层上分别上胶后，贴覆至少一滤网。

其中该上胶的方式采用人工涂布、上胶机涂布的其中任一种。

其中该加热粘固的加热方法采用烘烤箱加热、电熨斗加热、微波加热、红外线加热、加热机加热的其中任一种。

其中该支撑结构由四个侧边框相互连接呈一框体，而其框体内设有多根肋条与多根支撑肋相互连接形成的条格状结构，且各支撑肋的高度小于各肋条，以使该支撑结构内部形成多个贯穿通道，以利装填吸附剂。

其中，将吸附剂封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内的方式是采用活动启闭的封设的方式，该支撑结构进一步于其中一侧边上设有一开槽，以利吸附剂的装填及取出，而该开槽对应配设一密封条，以供形成一启闭机构，而利更换吸附剂及重复使用吸附装置。

其中，将吸附剂封设于该吸附装置的支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内的方式是采用固定封设的方式，该固定封设的方式是采用粘合、热融胶合、超音波结合的其中任一方式使吸附剂的充填口封死，以供将吸附剂密封固定于该支撑结构与其外侧的滤网所形成的容置空间内。

其中该吸附装置是制成薄片型，以利降低压力损失。

其中该滤网为不织布滤网。

其中该滤网为细网。

附图说明

本发明的其它特点及具体实施例可于以下配合附图的详细说明中进一步了解，其中：

图1是为本发明的制造方法的步骤流程示意图。

图2是为本发明的实施例的立体外观示意图。