[发明专利]可变滤波器元件、可变滤波器模块及其制造方法

权利要求书

1.一种可变滤波器元件，包括：

衬底；

所述衬底上的两条地线和位于所述衬底上的两条地线之间的信号线，其 中所述衬底上的地线和所述信号线被设置为在所述衬底上平行延伸；

可移动电容器电极，其桥接在所述衬底上的两条地线之间，并具有面对 所述信号线的部分；

驱动电极，其位于所述信号线和所述衬底上的地线之间，并对所述可移 动电容器电极产生静电引力；以及

所述衬底中的地线，其被设置在所述衬底中，具有面对所述信号线的部 分，并电连接所述衬底上的两条地线；

其中所述信号线与所述衬底上的地线结合构成第一电容，所述信号线与 所述可移动电容器电极结合构成第二电容，以及所述信号线与所述衬底中的 地线结合构成第三电容，

其中所述衬底上的地线、所述可移动电容器电极和所述衬底中的地线构 成地互连部，

其中所述信号线和所述地互连部构成分布常数传输线，所述分布常数传 输线具有所述第一电容、第二电容和第三电容的总电容。

2.一种可变滤波器元件，包括：

衬底；

多条信号线，其被设置为在所述衬底上平行延伸；

可移动电容器电极，其在所述衬底上突出，并具有面对所述信号线的部 分；

驱动电极，其形成在所述衬底上，并对所述可移动电容器电极产生静电 引力；以及

衬底中的地线，其被设置在所述衬底中，具有面对所述信号线的部分， 并电连接所述可移动电容器电极；

其中所述信号线与所述可移动电容器电极结合构成第一电容，以及所述 信号线与所述衬底中的地线结合构成第二电容，

其中所述可移动电容器电极和所述衬底中的地线构成地互连部，

其中所述信号线和所述地互连部构成分布常数传输线，所述分布常数传 输线具有所述第一电容和第二电容的总电容。

3.如权利要求1或2所述的可变滤波器元件，其中，在所述信号线上还 包括电介质部分。

4.如权利要求1或2所述的可变滤波器元件，其中所述衬底为具有分层 结构的多层互连衬底，该分层结构包括多个绝缘层和位于各绝缘层之间的互 连图案。

5.一种可变滤波器元件，包括多个如权利要求1或2所述的可变滤波器 元件，其中所述多个可变滤波器元件串联或并联设置。

6.一种可变滤波器模块，包括：如权利要求1或2所述的可变滤波器元 件，以及设置在所述衬底上的多个无源元件。

7.一种可变滤波器元件的制造方法，用于制造如权利要求1或2所述的 可变滤波器元件；该方法包括如下步骤：

制造具有多个可变滤波器元件形成块的互连衬底晶片，每个所述可变滤 波器元件形成块包括所述衬底中的地线；

在所述多个可变滤波器元件形成块的每一个形成块中，于所述互连衬底 晶片上形成至少一条信号线、驱动电极和可变电容器电极；以及

分割所述互连衬底晶片。

8.一种可变滤波器模块的制造方法，用于制造如权利要求6所述的可变 滤波器模块；该方法包括如下步骤：

制造具有多个可变滤波器模块形成块的互连衬底晶片，每个所述滤波模 块形成块包括所述衬底中的地线；

在所述多个可变滤波器模块形成块的每一个形成块中，于所述互连衬底 晶片上形成至少一条信号线、驱动电极和可变电容器电极、和多个无源元件 组；以及

分割所述互连衬底晶片。