[发明专利]涂布方法以及图案形成方法

权利要求书

1.一种涂布方法，其是往基板上被岸壁包围的区域内通过喷墨方式 供给涂布液形成涂布膜，然后使该涂布膜软化、流动，从而将该涂布膜 填充到上述岸壁包围的区域内的涂布方法，其中，

对上述岸壁的表面进行疏液处理，往被上述岸壁包围的区域内利用 喷墨供给涂布液之后，在使涂布膜软化、流动之前对上述岸壁的表面进 行亲液处理。

2.权利要求1所述的涂布方法，其中，在利用上述喷墨方式供给涂 布液之后，使涂布膜固化。

3.权利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述涂布膜的软化，通 过将上述涂布膜暴露在有机溶剂气氛中进行。

4.权利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述岸壁所包围的区域， 在应该分别形成多种色彩的各涂布膜的位置上形成多个。

5.权利要求4所述的涂布方法，其中，上述涂布液为彩色抗蚀液， 上述涂布膜是作为滤色层的彩色抗蚀薄膜、或者作为有机EL层的彩色 抗蚀薄膜。

6.权利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述涂布膜为有机膜或 无机膜。

7.权利要求1或2所述的涂布方法，其中，通过使上述涂布膜软化、 流动，而将该涂布膜填充到被上述岸壁包围的区域内的处理，对偏向上 述岸壁所包围的区域形成的涂布膜的位置进行校正。

8.权利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述岸壁所包围的区域 具有角部时，通过使上述涂布膜软化、流动，而将该涂布膜填充到被上 述岸壁包围的区域内的处理，使上述涂布膜遍及该角部。

9.权利要求1或2所述的涂布方法，其中，上述涂布液为高粘度涂 布液时，通过使上述涂布膜软化、流动，而将该涂布膜填充到被上述岸 壁包围的区域内的处理，使涂布膜遍及上述岸壁所包围区域的外周部。

10.一种图案形成方法，其是在基板上由涂布膜形成薄膜图案的图 案形成方法，其具有：

在基板上以包围预定的薄膜形成区域的方式形成岸壁的工序；

向上述岸壁所包围的预定的薄膜形成区域内利用喷墨供给涂布液， 形成涂布膜构成的薄膜的工序；以及

通过使上述薄膜软化、流动，从而将该薄膜填充到上述岸壁所包围 的区域内的工序，

预先对上述岸壁的表面进行疏液处理，向上述岸壁所包围的预定的 薄膜形成区域内利用喷墨供给涂布液之后，在使薄膜软化、流动之前对 上述岸壁的表面进行亲液处理。

11.权利要求10所述的图案形成方法，其进一步具有在形成上述涂 布膜构成的薄膜之后使薄膜固化的工序。

12.权利要求10或11所述的图案形成方法，其中，上述薄膜的软 化，通过将上述薄膜暴露在有机溶剂气氛中进行。

13.权利要求10或11所述的图案形成方法，其中，上述岸壁所包 围的预定的薄膜形成区域，在应该形成多种色彩的各薄膜的位置上形成 多个。

14.权利要求13所述的图案形成方法，其中，上述涂布液为彩色抗 蚀液，上述薄膜为彩色抗蚀薄膜，以此形成滤色层的图案或者有机EL 层的图案。

15.权利要求10或11所述的图案形成方法，其中，上述薄膜为有 机膜或无机膜。

16.权利要求10或11所述的图案形成方法，其中，通过使上述涂 布膜软化、流动，而将该涂布膜填充到被上述岸壁包围的区域内的处理， 对偏向上述岸壁所包围的预定的薄膜形成区域形成的薄膜的位置进行 校正。

17.权利要求10或11所述的图案形成方法，其中，上述岸壁所包 围的预定的薄膜形成区域具有角部时，通过使上述涂布膜软化、流动， 而将该涂布膜填充到被上述岸壁包围的区域内的处理，使上述薄膜遍及 该角部。

18.权利要求10或11所述的图案形成方法，其中，上述涂布液为 高粘度涂布液时，通过使上述涂布膜软化、流动，而将该涂布膜填充到 被上述岸壁包围的区域内的处理，使薄膜遍及上述岸壁所包围的预定的 薄膜形成区域的外周部。