[发明专利]透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法

权利要求书

1.一种制造具有多个记录层的多层光记录介质的方法，包括下 述步骤：

a)在光记录介质的基底上形成记录膜；

b)在所述记录膜上涂敷用于形成中间层的光致固化树脂；

c)用紫外线通过透光性压模照射用于形成中间层的光致固化树 脂，以将信息图案转印至用于形成中间层的光致固化树脂上；和

d)在用于形成中间层的光致固化树脂上层叠记录膜，

其中所述透光性压模包括：具有透光性的基底；辅助层，具有 透光性且被堆叠于所述基底上；和无机抗蚀剂层，具有透光性且被堆 叠于所述辅助层上，

其中在所述辅助层和所述光致固化树脂之间的剥离性高于在具 有透光性的基底和所述光致固化树脂之间的剥离性，且所述无机抗蚀 剂层在其中形成有对应于信息图案的非均匀图案，具有透光性的所述 辅助层在无机抗蚀剂层的非均匀图案的凹部中被暴露，

其中所述无机抗蚀剂层包括氧化钨、氧化钼、以及氧化钨中的 一部分钨被钼取代的氧化物中的任意一种作为主要成分，这些氧化物 中的每一种都具有小于该种氧化物的理想配比氧含量的氧含量，并且

其中所述辅助层包括氮化硅、氧化硅、氧化钛及它们的混合物 中的任意一种。