[发明专利]钻头检查装置、钻头检查方法及记录了其程序的记录媒体有效
申请号: | 200810096967.9 | 申请日: | 2008-05-12 |
公开(公告)号: | CN101368820A | 公开(公告)日: | 2009-02-18 |
发明(设计)人: | 陈延伟;段桂芳;助川武史 | 申请(专利权)人: | 株式会社瑞米克斯珀因特;学校法人立命馆 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/02;G01B11/28;G01B11/26;G01B11/00 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 余朦;方挺 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 钻头 检查 装置 方法 记录 程序 媒体 | ||
技术领域
本发明涉及对用于在印刷线路板等上开孔的钻头进行检查的钻头检查装置、钻头检查方法及记录了其程序的记录媒体。
背景技术
随着半导体加工工艺细微化的发展,在印刷线路板上开的孔被要求越来越高的精度。由于孔的大小或形状在钻头刃尖的磨损或者缺损时将变化,因此必须检查钻头的刃尖,根据需要进行研磨再利用、或者报废。钻头的研磨或报废的时间点一般根据开孔的个数进行判断。
专利文献1公开了通过对参照值和从钻刃数据求得的值进行比较来判别好坏的手法。
【专利文献1】特开平1-216752号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在以孔数对钻头的研磨或报废的时间点进行判断的情况下,存在由于开孔基板的硬度或材质等的不同而偏离本来的应该研磨或者报废的时间点的情况。另外,在人为地对研磨或报废的时间点进行判断的情况下,需要熟练的检查员,并且作业本身也很烦杂。
本发明是鉴于此情况而提出的,其目的在于提供能够以简单的处理准确地对钻头的状态进行判定的钻头检查装置、钻头检查方法及记录了其程序的记录媒体。
用于解决课题的手段
本发明某方式的钻头检查装置包括:测定部,其对拍摄的钻头刃尖图像内的刃尖区域的形状信息进行测定;以及判定部,其根据由所述测定部测定的形状信息对钻头刃尖的状态进行判定。
另外,以上构成要素的任意组合、将本发明的表现在方法、装置、系统、记录媒体、计算机程序等之间进行交换,作为本发明的实施方式也是有效的。
发明的效果
根据本发明,能够以简单的处理准确地对钻头的状态进行判定。
附图说明
图1是用于对钻头的生命周期上的阶段进行说明的图。
图2A是对处于新品(研磨0次)未使用状态的钻头的刃尖在沿旋转轴的方向上进行拍摄的图。
图2B是对处于新品(研磨0次)已使用完状态的钻头的刃尖进行拍摄的图。
图2C是对处于研磨一次后未使用状态的钻头的刃尖进行拍摄的图。
图2D是对处于研磨一次后已使用完状态的钻头的刃尖进行拍摄的图。
图2E是对处于研磨两次后未使用状态的钻头的刃尖进行拍摄的图。
图2F是对处于研磨两次后已使用完状态的钻头的刃尖进行拍摄的图。
图2G是对处于缺损状态的钻头的刃尖进行拍摄的图。
图3是示出了本实施方式涉及的钻头检查装置的构成的图。
图4是用于对由包含刃尖区域的图像确定的参数进行说明的图。
图5是在由刃尖区域的形状信息规定的二元参数空间中标绘了采样数据的图。
图6是用于说明根据开始点信息及结束点信息对钻头的磨损程度进行确定的第一处理例的图。
图7是示出了采样数据的纵横比(宽度/长度)和开孔数之间的关系的图。
图8是用于说明根据开始点信息及结束点信息对钻头的磨损程度进行确定的第二处理例的图。
图9是示出了显示部显示的钻头检查结果画面的一个例子的图。
图10是示出了本实施方式涉及的钻头检查装置的基本动作的流程图。
图11是示出了连接刀刃宽度的形状曲线的图。
图12是示出了从连接刀刃宽度的形状曲线求面积的情形的图。
图13是示出了从连接刀刃宽度的形状曲线得到的面积的采样数据的图。
图14是示出了显示部显示的、多个钻头的检查结果画面的一个例子的图。
附图标记的说明
1钻头、20摄像部、30运算部、34测定部35设定部、36存储部、38判定部、40显示部、100钻头检查装置
具体实施方式
首先,在详细说明本发明的实施方式之前,对钻头的生命周期进行说明。钻头随着使用次数的增多,各刀刃磨损,在沿着旋转轴的方向上观察到的刀刃宽度逐渐变细。当刀刃磨损到损害开孔的精度时,通过研磨使刃尖部分变锋锐进行反复使用来进行延长钻头寿命的作业。由于这样的研磨可以抑制费用,因此多数情况下在钻头报废之前可以进行多次。从此观点出发,钻头的生命周期根据研磨次数可以分为多个阶段。另外,可以将实施了相同次数研磨的钻头分为能够使用的状态、和因磨损加剧而不应当使用的状态。
图1是用于对钻头的生命周期上的阶段进行说明的图。在图1中,将研磨0次的状态作为第一阶段、将研磨一次的状态作为第二阶段以及将研磨两次的状态作为第三阶段。在进一步进行研磨的情况下,阶段进一步发展。以下,在本说明书中对三个阶段的示例进行说明。另外,在本说明书中将第一阶段、第二阶段及第三阶段的各前半部分称为前半阶段、各后半部分称为后半阶段。
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