[发明专利]微机械器件及设计其的设备和制造其的方法,和微机械系统

权利要求书

1.一种微机械器件(100；100′)，包括：

层(110)；

形成在层(110)内的第一切口(120′)，用于限定第一摆动元件(150 ′)，所述第一摆动元件(150′)通过层(110)的第一弹簧部分(130′) 被可摆动地悬挂；和

形成在层(110)内的第二切口(120)，用于限定第二摆动元件(150)， 所述第二摆动元件(150)通过层(110)的第二弹簧部分(130)被可摆 动地悬挂，其中沟槽(140)在层(110)的主表面(112)中形成在第二 弹簧部分(130)内，

其中第一摆动元件(150′)的谐振频率(f₁)与第二摆动元件(150) 的谐振频率(f₂)不同，并且如此形成第一弹簧部分(130′)、第二弹簧部 分(130)和沟槽(140)使得在第一弹簧部分(130′)和第二弹簧部分(130) 的各向异性横向材料移除(-Δb)或各向异性横向材料增加(+Δb)的情 况下，第二摆动元件(150)的谐振频率的相对变化与第一摆动元件(150 ′)的谐振频率的相对变化的比率(V_s)范围为从0.8至1.2。

2.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中第一摆动元件(150′) 的谐振频率(f₁)小于第二摆动元件(150)的谐振频率(f₂)。

3.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中第二摆动元件(150) 的谐振频率(f₂)与第一摆动元件(150′)的谐振频率(f₁)比率在范围 0.5至2之外。

4.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中第二摆动元件(150) 的谐振频率(f₂)与第一摆动元件(150′)的谐振频率(f₁)比率在范围 0.8至1.2之外，且第二摆动元件(150)的谐振频率的相对变化与第一摆 动元件(150′)的谐振频率的相对变化的比率(V_s)范围为从0.9至1.1。

5.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中沟槽(140)包括直的 或弯曲的构造。

6.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中沟槽(140)形成为从 主表面(112)到与所述主表面相对的第二主表面至少部分连续。

7.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中多个沟槽(140′、140 ″、140″′)在所述层的主表面(112)中形成在第二弹簧部分(130)内。

8.根据权利要求7中所述的微机械器件，其中多个沟槽(140′、140 ″、140″′)的至少部分彼此平行地布置。

9.根据权利要求8中所述的微机械器件，其中多个沟槽(140′、140 ″、140″′)的至少部分彼此前后布置成线。

10.根据权利要求1中所述的微机械器件，其中另一切口(122)紧 接着第二切口(120)形成在层(110)内，以便与第二切口(120)一起 限定与层的第二弹簧部分(130)和第二摆动元件(150)相对布置的另一 弹簧部分(132)，其中所述第二摆动元件(150)通过第二弹簧部分(130) 和另一弹簧部分(132)被可摆动地悬挂，并且另一沟槽(142)在层(110) 的主表面(112)中形成在另一弹簧部分(132)内。

11.根据权利要求10中所述的微机械器件，其中所述沟槽(140)和 另一沟槽(142)关于第二摆动元件(150)的中心轴线(154)对称布置， 其中所述中心轴线(154)与由所述沟槽(140)和另一沟槽(142)限定 的第二摆动元件(150)的中心轴线(152)正交。

12.根据权利要求1所述的微机械器件(100)，其中所述沟槽(140) 以凹陷的形式在层(110)的主表面(112)中形成在所述第二弹簧部分(130) 内。