[发明专利]用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃有效
| 申请号： | 200810098675.9 | 申请日： | 2008-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101333069A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 每田繁;大塚久利 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/06 | 分类号： | C03C3/06;C03C3/078;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 压印 模具 掺杂 氧化 石英玻璃 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光和热纳米压印光刻法工艺的、由掺杂二氧化钛的 石英玻璃构成的、其上具有预定的细微图形的纳米压印模具，所述掺 杂二氧化钛的石英玻璃含有6～10％重量的二氧化钛、具有最高为0.5％ 重量的二氧化钛浓度分布且具有最高为500ppm的氯浓度，没有夹杂 物，该石英玻璃在0℃至250℃之间具有-100～100ppb／℃范围内的线 性热膨胀系数(CTE)和25℃下最高为50ppb／℃的CTE分布。
2.按照权利要求1所述的纳米压印模具，其中掺杂二氧化钛的 石英玻璃含有氟。
3.按照权利要求1所述的纳米压印模具，其中掺杂二氧化钛的 石英玻璃具有最高为1200℃的假想温度。
4.按照权利要求1所述的纳米压印模具，其中掺杂二氧化钛的 石英玻璃具有最高为1000ppm的OH浓度。
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