[发明专利]位移传感器

权利要求书

1.一种位移传感器，包括：

圆筒形位移检测线圈(1)；

电导体(2)，所述电导体设置为在位移检测线圈的径向方向上靠近到 位移检测线圈(1)的内侧或者外侧，所述电导体(2)在位移传感线圈(1) 的轴向方向上能够自由地移动；

振荡电路(3)，所述振荡电路输出具有与位移检测线圈(1)的感应 系数(L)相对应的频率(1/Tres)的振荡信号；

振荡周期测量单元(4)，所述振荡周期测量单元输出与从振荡电路(3) 输出的振荡信号的周期相对应的信号；和

平方输出单元(5)，所述平方输出单元计算并且输出从振荡周期测量 单元(4)输出的信号的平方；

其特征在于，所述振荡电路(3)具有振幅限制电路，其将振荡信号 的振幅限制到预定值；

非磁体设置在所述位移传感线圈(1)内侧；和

温度补偿单元(6)，所述温度补偿单元(6)将具有预定温度系数的 偏移量加到平方输出单元(5)输出的平方中，由此补偿平方输出单元(5) 输出的平方的温度变化。

2.根据权利要求1所述的位移传感器，其中温度系数和偏移量中的至 少一个是可编程的参数。

3.根据权利要求1所述的位移传感器，其中所述温度补偿单元(6) 应用补偿温度系数到已经加了偏移量的所述平方，从而取消所述预定温度 系数。

4.根据权利要求3所述的位移传感器，其中所述补偿温度系数是可编 程的参数。

5.根据权利要求1所述的位移传感器，其中所述位移检测线圈(1) 的绕线在轴向方向上是不均匀分布的。

6.根据权利要求1所述的位移传感器，其中所述位移检测线圈(1) 和电导体(2)用磁屏蔽(8)包围，所述磁屏蔽(8)用于保护它们免受 电磁波。