[发明专利]探测装置

权利要求书

1.一种探测装置，将排列有多个被检查芯片的基板载置到沿着水平方向以及铅垂方向能够移动的基板载置台上，使所述被检查芯片的电极垫与探测卡的探测器接触，进行被检查芯片的检查，其特征在于，包括：

载置收容有多个基板的载体的装载口；

具有在下面形成有探测器的探测卡的多个探测装置本体；

围绕铅垂轴旋转自由以及升降自由地构成的，用于在所述装载口与所述探测装置本体之间进行所述基板的转移的基板搬送机构；和

对所述探测装置本体以及所述基板搬送机构输出控制信号的控制部，其中，

所述基板搬送机构具备相互独立地进退自由的至少3个基板保持部件，

所述控制部输出控制信号，使得通过所述基板搬送机构从载体接收至少2个基板，利用空的所述基板保持部件将这些至少2个基板与多个探测装置本体内的检查完毕的基板依次交换。

2.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于：

所述基板搬送机构为了进行基板的定位，具备由使从所述基板保持部件接收的基板旋转的旋转部，和在包括所述旋转部上的基板周边部的区域照射光，接受通过该区域的光的检测部构成的预对准机构。