[发明专利]振荡器装置、光偏转器及使用光偏转器的成像设备

权利要求书

1.一种振荡器装置，包括：

振荡系统，其具有振荡器和弹性支撑构件；

检测构件，其被配置为检测所述振荡器的振荡幅度；

驱动构件，其被配置为驱动所述振荡器；以及

控制单元，其被配置为生成用于驱动所述振荡器的驱动信号，以及将所述驱动信号提供给所述驱动构件；

其中，所述控制单元往复扫掠所述驱动信号的驱动频率，从而所述振荡系统的谐振频率被包括在所扫掠的频率范围内，其中，所述控制单元基于至少两个频率来确定谐振频率，其中，在上述至少两个频率，可由往复扫掠所获得的振荡幅度值达到最大值，并且其中，所述控制单元基于所确定的谐振频率生成所述驱动信号。

2.如权利要求1所述的振荡器装置，其中，在由fmax1表示当在往复扫掠中按正向行程对频率进行扫掠时所述振荡幅度值达到最大值的频率的情况下，以及在由fmax2表示当在往复扫掠中按逆向行程对频率进行扫掠时所述振荡幅度值达到最大值的频率的情况下，所述控制单元将所述频率fmax1和fmax2的平均频率(fmax1+fmax2)/2确定作为所述振荡系统的谐振频率。

3.如权利要求1所述的振荡器装置，其中，在按正向行程来扫掠驱动频率之后，所述控制单元以比正向行程的扫掠速度更慢的速度按逆向行程来扫掠驱动频率。

4.如权利要求3所述的振荡器装置，其中，当在驱动频率的正向行程扫掠中穿过所述振荡幅度值达到最大值的频率之后，当振荡幅度开始减少时，所述控制单元停止扫掠驱动频率，并且其中，所述控制单元以比正向行程扫掠速度更慢的速度从停止正向行程扫掠的位置按逆向行程扫掠驱动频率，并且将振荡幅度值再次达到最大值的频率确定作为所述振荡系统的谐振频率。

5.如权利要求3所述的振荡器装置，其中，对于扫掠驱动频率，所述控制单元按预定变化连续改变驱动频率，并且在应用每一变化之后保持该驱动频率预定时间。

6.如权利要求5所述的振荡器装置，其中，所述控制单元通过按预定变化连续改变驱动频率来扫掠驱动频率，并且，当在穿过所述振荡幅度值达到最大值的频率之后所述振荡幅度开始减少时，所述控制单元停止驱动频率扫掠，并且其中，在按比正向行程中的驱动频率的预定变化更小的预定变化连续改变驱动频率的同时，所述控制单元从停止正向行程扫掠的位置按逆向行程扫掠驱动信号。

7.如权利要求6所述的振荡器装置，其中，在逆向行程扫掠中，当在穿过所述振荡幅度值达到最大值的频率之后所述振荡幅度开始减少时，所述控制单元停止驱动频率扫掠，并且其中，在按比逆向行程扫掠中的驱动频率的预定变化更小的预定变化连续改变驱动频率的同时，所述控制单元从停止逆向行程扫掠的位置按正向行程再次扫掠驱动信号。

8.如权利要求7所述的振荡器装置，其中，所述控制单元重复驱动频率的往复扫掠，直到驱动频率的变化变得比预定值更小。

9.如权利要求5-8中的任意一项所述的振荡器装置，其中，使得当所述振荡器的振荡幅度小于预定阈值时的驱动频率的变化比当所述振荡器的振荡幅度大于所述预定阈值时的驱动频率的变化更大。

10.如权利要求1-8中的任意一项所述的振荡器装置，其中，所述振荡系统包括：支撑构件、第一振荡器、第二振荡器、第一弹性支撑构件以及第二弹性支撑构件，所述第一弹性支撑构件被配置为相对于所述第二振荡器而支撑所述第一振荡器，以用于关于扭转轴振荡运动，所述第二弹性支撑构件被配置为相对于支撑构件来支撑所述第二振荡器，以用于关于所述扭转轴振荡运动。

11.一种光偏转器，包括：

如权利要求1-10中的任意一项所述的振荡器装置；以及

光偏转元件，其被提供在所述振荡器处。

12.一种成像设备，包括：

如权利要求11所述的光偏转器；

光学系统；

光源；以及

光敏构件；

其中，由所述光偏转器以扫描方式使得来自所述光源的光束偏转，并且通过所述光学系统在所述光敏构件上的目标位置处收集所偏转的扫描光束。