[发明专利]绘图装置

权利要求书

1.一种绘图装置，该绘图装置是利用基于绘图数据而调制的光线对 工件的表面描绘出与绘图数据对应的图案的直接曝光方式的绘图装置， 其特征在于，

该绘图装置具备：

绘图光学装置，该绘图光学装置利用基于绘图数据而调制的光线来 描绘像；

绘图工作台，该绘图工作台在其表面形成有抽吸口；

绘图工作台移动机构，该绘图工作台移动机构使所述绘图工作台在 待机位置与利用所述绘图光学装置描绘像的位置之间往复移动；

抽吸泵，该抽吸泵通过抽吸管而与所述绘图工作台的各抽吸口连通， 通过该抽吸管从所述抽吸口进行抽吸；

压力传感器，该压力传感器用以检测所述抽吸管内的真空度；

清洁单元，该清洁单元在处于待机位置的所述绘图工作台上的所述 工件的载置位置与所述绘图光学装置之间，使旋转轴面向与所述绘图工 作台的表面平行且与该绘图工作台的移动方向正交的方向，旋转自如地 保持着清洁滚轮，并且，使所述清洁滚轮在接触所述绘图工作台表面的 位置与离开该绘图工作台的位置之间移动；以及

控制部，该控制部只有在所述压力传感器检测到的真空度为特定阈 值以上时，才对所述清洁单元使所述清洁滚轮朝接触所述绘图工作台的 位置移动，在该状态下利用所述绘图工作台移动机构使所述绘图工作台 从所述待机位置移动至利用所述绘图光学装置描绘像的位置。

2.如权利要求1所述的绘图装置，其特征在于，

该绘图装置还具备：

机械手，该机械手与所述待机位置的所述绘图工作台的表面对置配 置，并装卸自如地保持所述工件；以及

离接机构，该离接机构使所述机械手与所述绘图工作台，在所述工 件接触所述绘图工作台表面的位置及所述工件离开所述绘图工作台的位 置之间相对地移动，并且

所述控制部只有在所述绘图工作台处于所述待机位置时，才通过控 制所述离接机构，让所述机械手及所述绘图工作台相对移动至使所述工 件接触所述绘图工作台表面的位置，只有在所述机械手放开所述工件时 才使所述抽吸泵动作。

3.如权利要求2所述的绘图装置，其特征在于，

所述离接机构使所述机械手相对于处在所述待机位置的绘图工作台 表面接近或离开。

4.如权利要求1所述的绘图装置，其特征在于，

在所述绘图工作台表面形成有多个抽吸口，这些多个抽吸口被分成 多组，针对每一组，属于相同组的抽吸口经由该组专用的抽吸泵所抽吸，

所述压力传感器分别配设于与各抽吸泵连通的每一抽吸管。