[发明专利]整体式精密五轴调整装置在审
申请号: | 200810099368.2 | 申请日: | 2008-05-06 |
公开(公告)号: | CN101290384A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 方林;陈新宏 | 申请(专利权)人: | 芯硕半导体(中国)有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 合肥金安专利事务所 | 代理人: | 金惠贞 |
地址: | 230601安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 整体 精密 调整 装置 | ||
技术领域
本发明涉及光学器件在空间的多自由度精密调整的多维精密调整机构。
背景技术
目前,国内外现有精密光学器件的多维精密调整机构的产品种类繁多,通过螺旋传动、齿轮传动,以及直线导轨移动来实现精密光学器件多个自由度的移动和转动。但是,公知技术中采用单轴调整机构安装拼接成五轴调整机构,其结构尺寸往往会超出产品空间结构的限制。
发明内容
为了解决上述五轴调整机构体积大,不能满足与精密光学器件配套装配要求,本发明提供一种结构紧凑的整体式精密五轴调整装置。
具体的结构设计方案如下:
整体式精密五轴调整装置包括一个热沉21,所述热沉通过热沉主轴23设于U形光源组合固定架16内;
U形光源组合固定架16底部对称中心通过轴套17固定连接着主轴2,U形光源组合固定架16底部外侧面固定设有Z轴大齿轮25;
主轴2上套设有齿轮拖配连接板13,主轴2中部通过螺纹配合连接着螺纹调节套26,主基座6通过下轴套4套装在主轴2下部;螺纹调节套26上部固定套设有Z轴移动齿轮27,下部套设有环形压盖30,环形压盖30固定连接着主基座6;
齿轮拖配连接板13一侧通过轴承设有平行与主轴2的Z向移动调节轴3,Z向移动调节轴3的上端设有与Z轴大齿轮25啮合的小齿轮14,其下部贯穿伸至主基座6外;
主基座6另一侧设有平行于主轴2的Z向升降调节轴33,Z向升降调节轴33上端设有与Z轴移动齿轮27配合的Z轴移动小齿轮29;
主基座6为矩形座,其外侧套设有内框板8和外框板9;主基座6与内框板8相对应两侧分别设有X向移动左滑轨7和X向移动右滑轨31;内框板8与外框板9相对应两侧分别设有Y向移动左滑轨45和Y向移动右滑轨42。
X向移动左滑轨7外侧的内框板8上设有与齿轮拖配连接板13对应的X向螺微调节挡板12,外框板9上对应设有X向螺微调节杆支架10,X向螺微调节杆支架10上设有X向螺纹调节杆11,X向螺纹调节杆11的内端对应着X向螺微调节挡板12外侧面。
所述主基座6上设有与Z轴移动齿轮27对应的Y轴移动调节推板39,内框板8上对应设有Y轴移动调节支架40,Y轴移动调节支架40上设有Y轴移动调节杆41,Y轴移动调节杆41的内端与Y轴移动调节推板39对应。
所述U形光源组合固定架16一侧架板上部两侧分别开有Z向调节槽,两个调节挡杆35分别固定设于热沉21侧壁上,两个调节挡杆35的另一端分别位于调节槽内36;两个Z向调节槽顶部分别连通着螺纹孔,一个螺纹孔内设有弹簧37和压盖38,弹簧37位于调节挡杆上部,另一个螺纹孔内设有调节螺杆20,调节螺杆20下端与另一调节挡杆杆端接触;U形光源组合固定架16另一侧架板外连接着平行夹紧板,夹紧板上对应热沉主轴23处开有轴孔,轴孔上部连接着垂直夹紧槽,垂直夹紧槽上部的夹紧块配合设有水平螺纹孔和夹紧螺杆,热沉主轴23的外伸端位于轴孔内。
所述Z向移动调节轴3的下端设有Z向旋扭1。
所述Z向升降调节轴33的下端设有Z向旋扭34。
本发明的有益技术效果是:采用螺旋传动和直线导轨组合实现载物平台的三维精密平移调整,采用齿轮传动和滑动轴承组合,实现载物平台的两轴旋转调整,从而实现载物平台的五轴精密调整;本发明将五轴调整机构整合为一体,设计合理。与单轴平台组装起来的调整装置相比,不仅结构简单紧凑,实现了该调整机构的结构紧凑、工作稳定可靠;且调整便捷,可实现连续微调,实现了该机构的快速精密可调。
附图说明
图1为本发明主视轴测图,
图2为图1的后视轴测图,
图3为本发明主视图,
图4为图3的俯视图,
图5为图3的仰视图,
图6为图3右视图,
图7为图3的A-A剖视图,
图8为图4的B-B部视图。
具体实施方式
下面结合附图,通过实施例对本发明作进一步地描述。
实施例:
参见图1-图8,整体式精密五轴调整装置包括一个热沉21,所述热沉通过左轴套19、右轴套24、热沉主轴23和轴承盖22安装于U形光源组合固定架16内;
U形光源组合固定架16底部对称中心通过轴套17和弹性挡圈18固定连接着主轴2,U形光源组合固定架16底部外侧面固定设有Z轴大齿轮25;
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