[发明专利]吸附工作台

权利要求书

1.一种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，

在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另一方侧与所述真空抽吸单元连接，

所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，

所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由面积和倾斜方向各种各样的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到所述被载置部件上。

2.一种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，

在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另一方侧与所述真空抽吸单元连接，

所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，

所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由点接触地结合起来的金属碎片的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到所述被载置部件上。

3.一种吸振装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，

在所述吸振装置的一方侧载置所述被载置部件，所述吸振装置的另一方侧与所述真空抽吸单元连接，

所述吸振装置具有通气道，该通气道将与所述真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，

所述通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔由具有立体交联结构的金属碎片的壁面形成，所述吸振装置吸收由所述真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到所述被载置部件上。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的吸振装置，其特征在于，

所述大量的小孔根据开口直径而至少被分为三个组，该三个组配置成层叠结构。

5.如权利要求1至4中的任一项所述的吸振装置，其特征在于，

所述小孔的直径在100μm以内。

6.如权利要求2或3所述的吸振装置，其特征在于，

所述金属碎片是铸铁的切削碎片。

7.一种吸附工作台，其保持成为载置对象的被载置部件，其特征在于，

所述吸附工作台具有：

真空抽吸单元，其具有抽吸口；

所述权利要求1至6中的任一项所述的吸振装置；

薄片状部件，其载置在所述吸振装置的一个面上，并具有通气道，该通气道由比所述吸振装置的小孔小且大小均匀的小孔构成。

8.如权利要求7所述的吸附工作台，其特征在于，

所述薄片状部件是无尘纸。

9.一种光学检查装置，其对成为检查对象的被检查部件实施光学检查，其特征在于，

所述光学检查装置具有：

权利要求7或8所述的吸附工作台；

光学装置，其对载置在所述吸附工作台上的被检查部件照射检查用的光，并且接收该照射后反射回来的光；

驱动装置，其使所述吸附工作台、或光学装置、或者所述吸附工作台和所述光学装置，在X-Y平面上移动；以及

控制装置，其控制所述驱动装置。