[发明专利]制造装置及发光装置的制造方法

权利要求书

1.一种发光装置的制造装置，包括：

发射激光的光源单元；

将所述激光形成为矩形或线形的激光束的光学系统；

对所述矩形或线形的激光束选择性地进行遮光，或者选择性地反射所 述矩形或线形的激光束的光控制单元；

将经过所述光控制单元的激光束扫描到提供在被照射衬底的光吸收层 上的扫描单元；以及

对所述光控制单元、所述被照射衬底、及被成膜衬底进行位置对准的 对准单元，

其中，经过所述光控制单元的激光束对所述光吸收层进行加热，所述 光吸收层对提供在所述被照射衬底的第一材料层进行加热，以使所述第一 材料层的至少一部分气化，而在与所述被照射衬底相对地配置的所述被成 膜衬底上形成第二材料层。

2.根据权利要求1所述的发光装置的制造装置，其还包括控制所述光 源单元、所述光控制单元、以及所述扫描单元的控制装置。

3.根据权利要求1所述的发光装置的制造装置，其中所述矩形或线形 的激光束的长边方向和所述扫描单元的扫描方向彼此正交。

4.根据权利要求1所述的发光装置的制造装置，其中所述被照射衬底 是透光衬底。

5.根据权利要求1所述的发光装置的制造装置，其中所述光控制单元 选自光掩模、槽缝、及金属掩模之中。

6.一种发光装置的制造装置，包括：

发射激光的光源单元；

将所述激光形成为矩形或线形的激光束的光学系统；

对所述矩形或线形的激光束选择性地进行遮光，或者选择性地反射所 述矩形或线形的激光束的光控制单元；

将经过所述光控制单元的激光束扫描到提供在被照射衬底的气体产生 层上的扫描单元；以及

对所述光控制单元、所述被照射衬底、及被成膜衬底进行位置对准的 对准单元，该被照射衬底层叠有所述气体产生层和第一材料层，

其中，经过所述光控制单元的激光束对提供在所述被照射衬底的所述 气体产生层进行加热来使所述气体产生层气化，

并且，在配置为与所述被照射衬底相对的所述被成膜衬底上形成第二 材料层。

7.根据权利要求6所述的发光装置的制造装置，其还包括控制所述光 源单元、所述光控制单元、以及所述扫描单元的控制装置。

8.根据权利要求6所述的发光装置的制造装置，其中所述矩形激光束 或线形激光束的长边方向和所述扫描单元的扫描方向彼此正交。

9.根据权利要求6所述的发光装置的制造装置，其中所述被照射衬底 是透光衬底。

10.根据权利要求6所述的发光装置的制造装置，其中所述光控制单元 选自光掩模、槽缝、及金属掩模之中。