[发明专利]一种单向低损耗的乐甫波传感器

权利要求书

1. 一种单向低损耗的乐甫波传感器，包括压电基片(5)及分别沉积于其两端 的输入叉指换能器(1)和输出叉指换能器(2)，所述压电基片(5)上覆盖有波导 层(4)，所述波导层(4)采用剪切波速比压电基片(5)低的低声速膜，该波导层 (4)的中部覆盖有敏感膜(3)，所述敏感膜(3)放置在输入叉指换能器(1)和输 出叉指换能器(2)中间，其特征在于：所述的输入叉指换能器(1)和输出叉指换 能器(2)均采用单相单向换能器。

2. 根据权利要求1所述的乐甫波传感器，其特征在于：所述的波导层采用二氧 化硅、聚甲基丙烯酸甲脂、氧化锌、金或环氧树脂。

3. 根据权利要求1所述的乐甫波传感器，其特征在于：所述的敏感膜(3)为 生物敏感膜。

4. 根据权利要求1所述的乐甫波传感器，其特征在于：所述的输入叉指换能器 (1)和输出叉指换能器(2)部分可以被覆盖在波导层(4)之内或暴露在波导层(4) 之外。

5. 根据权利要求1所述的乐甫波传感器，其特征在于：所述的输入叉指换能器 (1)和输出叉指换能器(2)采用电极宽度控制单相单向叉指换能器、分布式单相 单向叉指换能器、谐振式单相单向叉指换能器、或双电极单相单向叉指换能器。

6. 根据权利要求1所述的乐甫波传感器，其特征在于：所述的输入叉指换能器 (1)和输出叉指换能器(2)采用Al膜、Au膜或Cu膜。

7. 根据权利要求1所述的乐甫波传感器，其特征在于：所述的压电基片(5) 采用各种切向的材料，可采用铌酸锂LiNbO3、钽酸锂LiTaO3、石英或压电陶瓷。