[发明专利]氧化钇掺杂氧化镧坩埚及其采用热压烧结制坩埚的方法

权利要求书

1、一种氧化钇掺杂氧化镧坩埚，其特征在于：氧化钇掺杂氧化镧坩埚的成分为每10g的氧化钇Y₂O₃中掺杂有0.2～1.2g的氧化镧La₂O₃。

2、根据权利要求1所述的氧化钇掺杂氧化镧坩埚，其特征在于：氧化钇掺杂氧化镧坩埚使用温度为1600～2000℃。

3、采用热压烧结工艺制备如权利要求1所述的氧化钇掺杂氧化镧坩埚的方法，其特征在于有下列步骤：

第一步：制浆料

将按目标成分配制的粒径0.01～20μm的Y₂O₃、粒径0.01～20μm的La₂O₃与无水乙醇混合均匀后制得浆料；

无水乙醇的用量为每100g的氧化钇Y₂O₃中加入0.05～0.2L。

第二步：烘干制坯料

将第一步骤中制得的浆料在干燥箱中烘干制得坯料，干燥温度60～100℃，干燥时间8～15h；

第三步：热压烧结制坩埚

将第二步制得的坯料放入热压设备的模腔中，盖上压坯；

调节压力至10～20MPa，升温速率5～10℃/min，烧结温度1400～1800℃，并在温度1400～1800℃条件下保温5～10h；最后脱模制得氧化钇掺杂氧化镧坩埚。

4、根据权利要求3所述的采用热压烧结工艺制氧化钇掺杂氧化镧坩埚的方法，其特征在于：在第一步骤中使用的氧化钇Y₂O₃粉材是多级粒径的级配粉，即第一级氧化钇Y₂O₃粉材粒径为0.01～0.5μm、第二级氧化钇Y₂O₃粉材粒径为0.5～2μm、第三级氧化钇Y₂O₃粉材粒径为2～6μm、第四级氧化钇Y₂O₃粉材粒径为6～20μm。