[发明专利]用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置

权利要求书

1.一种用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置，包 括：冷/热气体传输系统、操作系统和数据采集系统；

所述操作系统包括：一底座；位于所述底座之上的操作室，所述操作 室上端面设有观察视窗；所述操作室左右侧壁上分别设有通孔，所述操作 室的前或后侧壁上设有排气孔；所述操作室内的底座之上放置一设置有二 维操作导轨的二维操作平台，所述二维操作平台通过所述二维操作旋钮操 纵所述二维操作导轨使所述二维操作平台作平面二维运动；在所述二维操 作平台两侧分别设有连接于二维操作导轨的第一旋转机械臂和第二旋转 机械臂，所述第一旋转机械臂和第二旋转机械臂端部分别安装由探针主体 部分和探针尖端部分构成的探针；

所述冷/热气传输系统由冷/热源储气瓶和绝热传输管线组成，所述绝 热传输管线一端连通所述冷/热源储气瓶，另一端穿过所述通孔伸入所述操 作室内，其中冷/热源储气瓶内的冷/热源气体经由所述绝热传输管线输送 至所述操作室内，并在绝热传输管线的伸入所述操作室内的一端排出并吹 向所述探针；

所述数据采集系统由计算机、与所述计算机相连的数据采集装置和一 端连接于所述数据采集装置输出端的热电偶组成，所述热电偶的另一端穿 过所述通孔连接于所述探针的探针尖端部分。

2.按权利要求1所述的用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊 /光刻装置，其特征在于，所述操作室外部尺寸为20mm×20mm×20mm到 1000mm×1000mm×1000mm之间。

3.按权利要求1所述的用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊 /光刻装置，其特征在于，所述操作室为聚四氟乙烯材质的操作室；所述操 作室的观察视窗为玻璃或有机玻璃材质的观察视窗。

4.按权利要求1所述的用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊 /光刻装置，其特征在于，所述探针主体部分为金属或半导体硅材质的探针 主体，所述操探针尖端部分的直径在1nm-1mm范围之间。

5.按权利要求1所述的用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊 /光刻装置，其特征在于，所述绝热传输管线出口处的气体气流速度为 1mm-1cm/秒。