[发明专利]气相沉积制备四氧化三锰纳米线的方法无效

专利信息
申请号: 200810103467.3 申请日: 2008-04-07
公开(公告)号: CN101311366A 公开(公告)日: 2008-11-26
发明(设计)人: 常永勤;俞大鹏 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B29/62;C30B23/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 沉积 制备 氧化 纳米 方法
【权利要求书】:

1、一种气相沉积制备四氧化三锰纳米线的方法,其特征在于,将镀有金膜的硅片用丙酮超声清洗后再用去离子水清洗,用以收集Mn3O4纳米线;将高纯Mn粉放置在三氧化二铝坩埚中,清洗后的镀膜硅片覆盖在Mn源正上方,镀膜硅片与蒸发源的垂直距离为1~2mm,将它们一起放入水平管式炉中;将炉温升至900~1000℃后保温2~4h,膜生长的整个过程充入流量为50~150ml/min的氩气,生长结束后自然冷却至室温。

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