[发明专利]一种制作空气桥的方法

权利要求书

1.一种制作空气桥的方法，其特征在于，该方法仅使用一种光刻 胶，具体包括：

A、在基片上旋涂光刻胶，光刻、显影，制作桥墩图形；

B、对制作了桥墩图形的基片进行高温固化；

C、在高温固化后的基片上旋涂第二层同种光刻胶，光刻、显影， 制作桥面图形；

D、蒸发金属，布线；

E、进行金属剥离；

F、溶掉高温固化后的光刻胶；

其中，步骤A和C中所述光刻胶为AZ52系列和S18系列光刻胶， 且步骤A和C中采用的光刻胶相同，厚度均为0.6至3μm，步骤C中 所述光刻胶的剖面为倒梯形以利于金属的剥离；步骤A中所述在基片 上旋涂光刻胶后，在温度80至115℃下烘烤30至200秒；步骤B中 所述对制作了桥墩图形的基片进行高温固化采用烘箱、热板或合金处 理炉，温度在100摄氏度到200摄氏度之间；步骤C中所述在基片上 旋涂第二层同种光刻胶后，在温度80至115℃下烘烤30至200秒；步 骤E中所述进行金属剥离是将蒸发一层金属材料后的基片浸泡在丙酮 中，除去上面的光刻胶和第二层光刻胶上面的金属；步骤F中所述溶 掉高温固化后的光刻胶是将基片置于二甲基吡咯烷酮中，在100摄氏 度下加热，至少浸泡15分钟，然后依次用丙酮、乙醇和去离子水冲洗。

2.根据权利要求1所述的制作空气桥的方法，其特征在于，步骤 A中所述光刻显影后进一步包括：定义与下层金属连接的空气桥的桥 墩。

3.根据权利要求1所述的制作空气桥的方法，其特征在于，步骤 C中所述光刻显影进一步包括：定义空气桥。

4.根据权利要求1所述的制作空气桥的方法，其特征在于，步骤 D中所述蒸发的金属为金、铝、铜及其合金，厚度为0.4至3μm；所述 布线采用电子束蒸发的方法。

5.根据权利要求1所述的制作空气桥的方法，其特征在于，步骤 E中所述剥离进一步采用加热或喷淋的方法，使金属更容易剥离。

6.根据权利要求1所述的制作空气桥的方法，其特征在于：

步骤E中所述剥离进一步采用加热的方法，以加速光刻胶的溶解， 且加热的温度要小于有机物的沸点。