[发明专利]一种激光散斑的计量方法及装置无效
申请号: | 200810105067.6 | 申请日: | 2008-04-25 |
公开(公告)号: | CN101566504A | 公开(公告)日: | 2009-10-28 |
发明(设计)人: | 王斌;吴铁甲;成华;房涛;毕勇;梅东滨 | 申请(专利权)人: | 北京中视中科光电技术有限公司;中国科学院光电研究院 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G01M11/02 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王 勇 |
地址: | 100094北京市海淀区永丰高新*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 计量 方法 装置 | ||
1.一种激光散斑计量装置,包括
信号接收单元,用于接收激光散斑并将所接收到的激光散斑图像转换成激光散斑的光强分布信号;所述信号接收单元包括至少一个CCD;
矫正单元,用于对所述激光散斑的光强分布信号进行矫正;其中,
所述矫正单元根据人眼的视觉曲线确定人眼对所述至少一个CCD中的任意一个CCD所接收的某一波长的激光的第一敏感度,根据所述CCD对各种波长的光的响应曲线确定所述至少一个CCD中的任意一个CCD对所接收的所述某一波长的激光的第二敏感度,由所述第一敏感度与所述第二敏感度的比值作为矫正系数,将所述矫正系数乘以所述任意一个CCD的各像素点所接收到的所述某一波长的激光的光强以实现对光强分布信号的矫正;
计算单元,用于根据矫正后的光强分布信号计算表征激光散斑特性的参数。
2.如权利要求1所述的激光散斑计量装置,其中,所述激光散斑由单波长激光形成,所述信号接收单元为包括多个像素点的CCD。
3.如权利要求1所述的激光散斑计量装置,其中,所述激光散斑由多个波长激光形成,并且所述计量装置还包括分色器件,用于将各个波长的激光散斑分离。
4.如权利要求3所述的激光散斑计量装置,其中,所述信号接收单元为多个包括多个像素点的CCD,每个CCD适配于接收所述分色器件分出的一个波长的激光散斑。
5.如权利要求1-4之一所述的激光散斑计量装置,其中所述表征激光散斑特性的参数包括散斑对比度。
6.如权利要求1-4之一所述的激光散斑计量装置,其中所述表征激光散斑特性的参数还包括表征散斑统计半径的自相关函数。
7.根据权利要求1所述的激光散斑计量装置计量激光散斑的方法,包括以下步骤:
1)接收激光散斑并将所接收到的散斑图像转换成散斑光强分布信号;
2)对所述散斑光强分布信号进行矫正;该步骤包括:根据人眼的视觉曲线确定人眼对所述至少一个CCD中的任意一个CCD所接收的某一波长的激光的第一敏感度,根据所述CCD对各种波长的光的响应曲线确定所述至少一个CCD中的任意一个CCD对所接收的所述某一波长的激光的第二敏感度,由所述第一敏感度与所述第二敏感度的比值作为矫正系数,将所述矫正系数乘以所述任意一个CCD的各像素点所接收到的所述某一波长的激光的光强以实现对光强分布信号的矫正;
3)根据矫正后的光强分布信号计算表征散斑特性的参数。
8.如权利要求7所述的激光散斑计量方法,其中在步骤1)之前还包括:1.0)将激光散斑按不同波长进行分离的步骤。
9.如权利要求7或8所述的激光散斑计量方法,其中所述用于接收散斑的元件为一个或多个CCD。
10.如权利要求7或8所述的激光散斑计量方法,其中步骤3)中的表征激光散斑特性的参数包括散斑对比度。
11.如权利要求7或8所述的激光散斑计量方法,其中步骤3)中的表征激光散斑特性的参数包括表征散斑统计半径的自相关函数。
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