[发明专利]芯片检测方法有效
| 申请号： | 200810105619.3 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101571571A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 简维廷;郭强;龚斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/317 | 分类号： | G01R31/317 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 检测 方法 | ||
1.一种芯片检测方法，其特征在于，包括：
根据芯片中所有逻辑单元的数量、检测芯片所有逻辑单元时允许失效的逻辑单元的数量以及作为本批次检测样本的芯片数量，获得达到本批次芯片检测要求的单个芯片逻辑单元的失效概率；
保持作为检测样本的芯片数量不变，根据所述单个芯片逻辑单元的失效概率获得能够达到本批次芯片检测要求的单个芯片中逻辑单元的检测数及对应的允许失效的逻辑单元的数量的检测数据；
选取具有最少逻辑单元检测数及对应允许失效逻辑单元数量的一组检测数据，来对芯片进行检测；
所述获得单个芯片中逻辑单元的失效概率根据下述公式获得：其中Plotfail为本批次芯片检测要求，N为芯片中所有逻辑单元的数量，n为检测芯片所有逻辑单元时允许失效的芯片逻辑单元的数量，pblockfail为单个芯片的逻辑单元失效概率，K为作为检测样本的芯片数量。
2.如权利要求1所述的芯片检测方法，其特征在于，所述批次芯片检测要求为至少有90％的概率能够正确判定批次芯片不符合质量要求的。
3.如权利要求1所述的芯片检测方法，其特征在于，所述批次芯片检测要求为有不超过5％的概率错误判定批次芯片质量不符合要求。
4.一种芯片检测方法，其特征在于，包括：
根据芯片中所有逻辑单元的数量、检测芯片所有逻辑单元时允许失效的逻辑单元的数量以及作为本批次检测样本的芯片数量，获得达到本批次芯片检测要求的单个芯片逻辑单元的失效概率；
设定芯片中逻辑单元检测数及对应的允许失效的芯片逻辑单元数量，根据所述单个芯片逻辑单元的失效概率获得能够达到本批次芯片检测要求的作为检测样本的最少芯片数量；
应用所述芯片中逻辑单元检测数、对应的允许失效的芯片逻辑单元数量及所获得的作为检测样本的最少芯片数量来对芯片进行检测；
所述获得单个芯片逻辑单元的失效概率根据下述公式获得：其中Plotfail为本批次芯片检测要求，N为芯片中所有逻辑单元的数量，n为检测芯片所有逻辑单元时允许失效的芯片逻辑单元的数量，pblockfail为单个芯片的逻辑单元失效概率，K为用以检测的芯片数量。
5.如权利要求4所述的芯片检测方法，其特征在于，所述设定芯片中逻辑单元检测数及对应的允许失效的芯片逻辑单元数量包括：将芯片中所有逻辑单元数量以及检测芯片所有逻辑单元时允许失效的芯片逻辑单元的数量等比例减小作为芯片中逻辑单元检测数及对应的允许失效的芯片逻辑单元数量。
6.如权利要求4所述的芯片检测方法，其特征在于，所述批次芯片检测要求为至少有90％的概率能够正确判定批次芯片不符合质量要求的。
7.如权利要求4所述的芯片检测方法，其特征在于，所述批次芯片检测要求为有不超过5％的概率错误判定批次芯片质量不符合要求。
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