[发明专利]基于压电悬臂梁的液体喷头

权利要求书

1.一种基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其主要结构包括压电悬臂梁，微槽道，微喷孔；其特征在于：含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁位于液体微槽道的上部或槽道中，作为微槽道中液体喷射的驱动器；在喷孔板上设置与衬底上微槽道对应的微喷孔，位于微槽道的上部或槽道中的压电悬臂梁、喷孔和微槽道相结合构成液体喷射结构；压电悬臂梁在电压的激励下，产生偏转形变，驱动微槽道中的液体从微喷孔中喷出。

2.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁的一端或一侧与衬底相连，作为悬臂梁的固定支撑端，悬臂梁其它部分为悬空可动。

3.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁为包含压电层和非压电层的多层复合结构，其中至少包含一层压电层及其上、下电极层。

4.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁的表面为电绝缘层。

5.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其特征在于：所述的压电悬臂梁中的各层，可以覆盖整个悬臂梁，也可以部分地分布于悬臂梁上。

6.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其特征在于：所述在每个微槽道的上部或槽道中以不同方式至少放置一个压电悬臂梁，驱动同一个微槽道中的液体从与之相通的微喷孔中喷出。

7.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁驱动的液体喷头中，包含至少一组压电悬臂梁、微槽道、微喷孔，构成以压电悬臂梁驱动的阵列式液体喷射结构。