[发明专利]一种高纯氧化铌、氧化钽陶瓷坩埚的制造方法及所制得的产品

权利要求书

1.一种高纯氧化铌、氧化钽陶瓷坩埚的制造方法，包括配料、料浆制备、成型、干燥、高温烧结，其特征在于原料配方按重量比为：

高纯氧化铌或氧化钽          75％～80％

丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺      0.2％～0.3％

N，N’-亚甲基双丙烯酰胺     0.1％～0.2％

柠檬酸铵                    0.5％～1％

聚乙二醇                    0.5％～1％

过硫酸铵                    0.05％～0.1％

去离子水                    15％～22％；

所述的成型是先采用离心注浆，而后在20℃～40℃温度条件下进一步凝胶固化成型的。

2.根据权利要求1所述陶瓷坩埚的制造方法，其特征在于所述高纯氧化铌陶瓷坩埚的原料配方按重量比为：

高纯氧化铌                  75％～80％

丙烯酰胺                    0.2％～0.3％

N，N’-亚甲基双丙烯酰胺     0.1％～0.2％

柠檬酸铵                    0.5％～1％

聚乙二醇                    0.5％～1％

过硫酸铵                    0.05％～0.1％

去离子水                    15％～22％。

3.根据权利要求1所述陶瓷坩埚的制造方法，其特征在于所述高纯氧化钽陶瓷坩埚的原料配方按重量比为：

高纯氧化钽                  75％～80％

甲基丙烯酰胺                0.2％～0.3％

N，N’-亚甲基双丙烯酰胺     0.1％～0.2％

柠檬酸铵                    0.5％～1％

聚乙二醇            0.5％～1％

过硫酸铵            0.05％～0.1％

去离子水            15％～22％。

4.由权利要求2所述方法制得的高纯氧化铌陶瓷坩埚产品。

5.由权利要求3所述方法制得的高纯氧化钽陶瓷坩埚产品。