[发明专利]除尘输送装置

权利要求书

1.一种除尘输送装置包含：

一输送带，可沿一输送方向输送一基板；

一上盖板，设置于该输送带上方，且具有一上盖板内表面，该上盖板内表面设置于该上盖板相对于该输送带的一侧，该上盖板内表面设置有一上黏着层；

一上气体吹气装置，该上气体吹气装置设置于该上盖板相对于该输送带的一侧；以及

一下盖板，设置于该输送带下方，且具有一下盖板内表面，该下盖板内表面设置于该下盖板相对于该输送带的一侧，该下盖板内表面设置有一下黏着层。

2.如权利要求1所述的除尘输送装置，其中该输送带包含多个滚轮，所述滚轮以可主动转动的方式沿该输送方向输送该基板。

3.如权利要求2所述的除尘输送装置，其中该滚轮还具有除尘滚轮，该除尘滚轮的表面具有滚轮黏着层。

4.如权利要求2所述的除尘输送装置，其中所述多个滚轮还包含一第一滚轮组及一第二滚轮组，其中该第一滚轮组及该第二滚轮组以垂直于该输送方向具有一第一高度差的方式设置。

5.如权利要求1所述的除尘输送装置，其中该上气体吹气装置包含吹气枪，其中该吹气枪的吹气角度可进一步随该基板于该输送带上的移动而改变。

6.如权利要求1所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一上气体抽气装置，该上气体抽气装置设置于该上气体吹气装置的两侧。

7.如权利要求1所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一下气体吹气装置，该下气体吹气装置设置于该下盖板相对于该输送带的一侧，其中该下气体吹气装置包含吹气孔。

8.如权利要求1所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一下气体抽气装置，该下气体抽气装置设置于该下盖板相对于该输送带的一侧，其中该下气体抽气装置包含抽气孔。

9.如权利要求3所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一除尘装置，该除尘装置相对于该除尘滚轮设置，用以去除黏着于该滚轮黏着层的尘屑。

10.如权利要求9所述的除尘输送装置，其中该除尘装置包含毛刷，且设置于该除尘滚轮下方，且与该滚轮黏着层接触。

11.如权利要求1所述的除尘输送装置，其中该下盖板还具有一第一下盖板部及一第二下盖板部，其中该第一下盖板部及该第二下盖板部以垂直于该输送方向具有一第二高度差的方式设置，用以改变该上吹气装置吹出的气体于该上盖板与该下盖板间形成的气体流场。

12.如权利要求11所述的除尘输送装置，其中该第一下盖板部包含设置于该第二下盖板部两侧，且以该第二高度差高于该第二下盖板。