[发明专利]用于位置测量装置的刻度尺以及位置测量装置

权利要求书

1.用于位置测量装置的刻度尺，其中所述刻度尺(M)拥有沿测量方向(X)P-周期性的刻度区(TS1、TS2)，所述刻度区(TS1、TS2)以有规律的间距(A)具有集成的、以所述P-周期性的中断的形式出现的基准标记(R)，其特征在于，所述刻度尺(M)横向于测量方向(X)错开地具有至少两个所述的P-周期性的刻度区(TS1、TS2)，所述刻度区(TS1、TS2)的集成的基准标记(R)沿测量方向相互错开。

2.按权利要求1所述的刻度尺，其特征在于，所述刻度尺(M)横向于测量方向(X)具有两个P-周期性的刻度区(TS1、TS2)，所述刻度区(TS1、TS2)的以有规律的间距(A)布置的基准标记(R)沿测量方向(X)相互错开了一半的间距(A)。

3.按权利要求1所述的刻度尺，其特征在于，所述刻度区(TS1、TS2)包括沿测量方向(X)交替布置的浅色区域及深色区域，使得一个周期(P)由一个浅色区域和一个深色区域构成，其中在每个刻度区(TS1、TS2)中相应地第n个浅色区域或深色区域通过深色区域或者说浅色区域来替代，由此形成以有规律的间距(A、n＊P)布置的集成的基准标记(R)。

4.按权利要求3所述的刻度尺，其特征在于，n＝8并且由此所述间距(A)相当于八倍的周期(P)。

5.具有按权利要求1所述的刻度尺(M)以及结构化的探测器(D)的位置测量装置，其中所述探测器(D)用于对所述刻度尺(M)进行扫描以产生用于形成位置数值的电信号，其特征在于，在所述用于对所述刻度区(TS1、TS2)进行扫描的探测器(D)上横向于测量方向(X)错开地布置了多个探测器区(DS1、DS2)，所述探测器区(DS1、DS2)对所述刻度区(TS1、TS2)的多个周期(P)来说相应地每个周期(P)具有m个沿测量方向(X)先后布置的传感器(PD1-PD4)。

6.按权利要求5所述的位置测量装置，其特征在于，每个探测器区(DS1、DS2)分别以不同于所述基准标记(R)的间距(A)的第二间距(B)具有空隙(L)，在该空隙(L)中相应地缺少m个传感器(PD1-PD4)或者m个传感器(PD1-PD4)没有用于产生电信号。

7.按权利要求6所述的位置测量装置，其特征在于，所述基准标记(R)的间距(A)和所述空隙(L)的第二间距(B)相差一个周期(P)。

8.按权利要求6所述的位置测量装置，其特征在于，所述探测器区(DS1、DS2)的空隙(L)沿测量方向(X)是并排的。

9.按权利要求5所述的位置测量装置，其特征在于，所述传感器(PD1-PD4)为光电探测器，这些光电探测器中每四个沿测量方向(X)先后布置的光电探测器(PD1-PD4)对刻度区(TS1、TS2)的一个周期(P)进行扫描。

10.按权利要求5所述的位置测量装置，其特征在于，光源(L)的光线准直地穿过所述刻度尺(M)落到所述结构化的探测器(D)上。

11.按权利要求10所述的位置测量装置，其中为了对所述周期性的刻度区(TS1、TS2)进行探测相应地沿测量方向(X)并排布置的光电探测器(PD1、PD2、PD3、PD4)彼此错接，并且为了对集成的基准标记(R)进行探测将沿测量方向(X)彼此错开的光电探测器(PD1、PD2、PD3、PD4)彼此错接，其中所述错移相应于在所述刻度区(TS1、TS2)之间的集成的基准标记(R)的错移。