[发明专利]放射线图像变换面板、闪烁器面板以及放射线图像传感器

说明书

技术领域

本发明是关于用于医疗用以及工业用的X线摄影等的放射线图像 变换面板、闪烁器面板以及放射线图像传感器。

背景技术

医疗、工业用的X射线摄影中，历来采用X射线感光胶片，然而， 从便利性和摄影结果的保存性的方面考虑，采用放射线检测器的放射 线成像系统正在普及。这种放射线成像系统中，利用放射线检测器取 得放射线的二维图像数据作为电信号，利用处理装置处理此信号，并 显示在监视器上。

作为具有代表性的放射线检测器，存在着一种具有如下构造的放 射线检测器。其构造为：形成放射线图像变换面板(以下，根据情况， 称为“闪烁器面板”)，并将此与摄像元件组合的结构的放射线检测器。 在该放射线检测器中，由闪烁器将入射的放射线变换成可由摄像元件 检测的波长区域的光图像(不局限于可见光)，从而由摄像元件检测。

作为如上所述的闪烁器面板，公知有，在国际公开公报WO 00/63722、同WO 02/23219 A1、同WO 02/23220 A1等中公开的闪烁器 面板。在WO 00/63722中公开的闪烁器面板是将反射性的金属膜以及 保护膜层叠于放射线透过基板上，即为堆积闪烁器而成的物质。被公 开于WO 00/23219 A1的闪烁器面板是将介电体多层膜设置于耐热性的 放射线透过基板上，并在其上面堆积闪烁器而成的物质。然后，被公 开于WO 02/23220 A1的闪烁器面板是将介电体多层膜设置于光透过基 板上，并在其上面堆积闪烁器而成的物质，是将抑制不要的光的入反 射的光入反射抑制部件设置于介电体多层膜和光透过基板的界面以及/ 或者和光透过基板的介电体多层膜的相反面上的物质。在这些闪烁器 面板中，透过基板的放射线入射到闪烁器上而被变化成光图像，虽然 是从放射线的入射面和相反面输出，但是由被设置于闪烁器和基板之 间的反射材料通过将所发出的光从闪烁器反射到基板侧从而能够获得 高亮度的放射线图像。

发明内容

在所述的闪烁器面板中，反射材料的反射率越高，越能够获得高 亮度的放射线图像。在介电体多层膜的情况下，通过增加其层数能够 实现高反射率。

近年来，在胸部X线摄影等的用途中虽然闪烁器面板的大型化有 了较大的进展，但是在像这样的大型化的面板上进行层叠多层膜厚均 匀的介电体膜的制作方式经过批量化生产之后被认为是困难的，同时 也招致制造成本的增加。另外，在抑制照射量并获得高亮度的放射线 图像中，希望极力减少到达闪烁器之前被基板等吸收所造成的损失， 因此优选基板等尽可能做得薄。对基板等进行大型化且制作得越薄那 么多层介电体膜的形成就变得越困难。

本发明人虽然在不断地推进以大型为目标的薄型闪烁器面板的批 量化生产，但是在其开发的过程当中，如果将基板制得尽可能的薄且 又使其大型化，则由于闪烁器的形成就会发现在基板上会产生不只是 数毫米而是十几毫米程度的翘曲。在产生像这样的翘曲的情况下，克 制构成介电体膜的无机材料因为缺乏柔软性、弹性以及延展性，所以 对于由于该翘曲而发生的变形的抵抗性较低，如果介电体膜层变厚则 会产生在介电体膜上发生破裂等不良状况。

而且，在将图像传感器贴合于闪烁器面板从而制作放射线图像传 感器的情况下，需要使闪烁器面板的贴合表面平坦化，在闪烁器面板 上产生了像所述的那样的翘曲之后，如果在为了恢复平整消除翘曲而 施加应力那么相对于基板而言就会成为被反复施加应力然而就变成了 更加容易产生破裂。

然而，本发明是把能够以大型化而且薄型化来获得高亮度的放射 线图像，并且把提供批量化生产容易的放射线图像变换面板、闪烁器 面板以及放射线图像传感器作为课题。

为了解决所述课题，本发明的放射线图像变换面板，其特征在于： 在支持体上具备将放射线图像变换成光图像的变换部，其中，支持体 具备：(1)金属反射体；以及(2)介电体膜反射镜，其至少具备与金 属反射体相接并形成在其上的第1介电体层，和形成在第1介电体层 上的第2介电体层，第2介电体层叠对于从变换部输出的光图像的光 的折射率，比第1介电体层高，在介电体膜反射镜侧形成变换部。