[发明专利]一种以聚酰亚胺为机械载体的薄膜微桥结构及制备方法无效
| 申请号： | 200810110531.0 | 申请日： | 2008-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101597019A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 陈学康;余荣;杨建平;曹生珠;吴敢;王瑞 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰亚胺 机械 载体 薄膜 结构 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种以聚酰亚胺为机械载体的薄膜微桥结构，其特征在于：以聚酰亚胺树脂固化膜作为热敏薄膜的支撑材料，以打过孔的成品聚酰亚胺膜作为微桥的基板，形成悬空的微桥结构，桥墩由成品聚酰亚胺膜制成，桥面是由聚酰亚胺树脂固化膜支撑的热敏薄膜。
2、一种权利要求1所述薄膜微桥结构的制作方法，其特征在于步骤包括：
(1)以成品聚酰亚胺膜为基板，在其上打孔；
(2)在洁净的硅片表面旋涂聚酰亚胺树脂，并加热，使之固化；
(3)以聚酰亚胺树脂作为粘贴剂，将固化后的聚酰亚胺树脂膜平整地粘贴在聚酰亚胺基板上，将粘贴后的结构再次加热固化；
(4)用去离子水分离硅片和聚酰亚胺树脂固化膜，得到聚酰亚胺桥式结构；
(5)在聚酰亚胺树脂固化膜上沉积热敏薄膜，并刻蚀微桥图形，得到以聚酰亚胺为机械载体的薄膜微桥结构。
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