[发明专利]万用型准流体系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种万用型准流体系统，特别是涉及一种流体供应装置的万用型准流体系统。其是利用，而成为一种相当具有实用性及进步性的新设计，适于产业界广泛推广应用。

背景技术

随着半导体制作工艺制造工艺的日益进步，元件的高性能及高集积化层次越高，使得每一材质层的厚度及均匀性的控制显得格外重要。特别是在化学机械研磨(Chemical Mechanic Polishing，CMP)，蚀刻工艺制造工艺或者是微影工艺制造工艺中，常常需要用到各种不同的气体与液体。因此，半导体工厂中，常常需要使用到管路来进行液体或气体的传输。

控制阀是半导体设备里用量最大的配件之一。使用控制阀的目的在于控制管路内流体的流量与方向。控制阀在半导体设备里占据有相当比例的空间，特别是当若干个控制阀连续安装在一起时，经由管路相连后，其所占据的空间对于施工或使用上均会造成一定程度的困扰与不便。众多的管路与控制阀，对于日后管路的维修，更造成一定的困扰。

因此，如何能有效地减少半导体设备或厂务设备所需要的控制阀与配管的数量且同时维持原有的功能，将可有效地减少半导体工厂所需的空间，并且减少半导体生产的成本，以提升半导体工厂的经济效益。

由此可见，上述现有的控制阀在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决控制阀存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种可兼具体积小、成本低且使用时可具有全方位调整功能的新型结构的万用型准流体系统，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的控制阀存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的万用型准流体系统，能够改进一般现有的控制阀，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的控制阀存在的缺陷，而提供一种新型结构的万用型准流体系统，所要解决的技术问题是藉由整合多个流道选择元件，以有效地控制流体的行进方向，从而更加适于实用。

本发明的另一目的在于，克服现有的控制阀存在的缺陷，而提供一种新型结构的万用型准流体系统，所要解决的技术问题是藉由整合多个流道选择元件，以减少所需的管路与控制阀的数量，更可有效地减少管路与控制阀间的接点，进一步提高流体传送的品质与效率，且降低设备与工厂的建置成本，从而更加适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的万用型准流体系统，其包含：一模组基座；至少二流道选择元件，安装于该模组基座之中；至少二入口，设置于该模组基座，以提供至少二流体进入该多个流道选择元件；以及至少二出口，其中，每一该多个流体可经由该多个流道选择元件的角度，以决定由该多个出口其中之一输出。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的万用型准流体系统，其中所述的流道选择元件与该模组基座形成至少一四通流体控制阀。

前述的万用型准流体系统，其中所述的流道选择元件与该模组基座形成至少一T型三通流体控制阀于该四通流体控制阀的一侧。

前述的万用型准流体系统，其中所述的流道选择元件与该模组基座形成四T型三通流体控制阀，并围绕于该四通流体控制阀。

前述的万用型准流体系统，其中所述的流道选择元件与该模组基座形成至少一L型三通流体控制阀于该四通流体控制阀的一侧。

前述的万用型准流体系统，其中所述的流道选择元件与该模组基座形成四L型三通流体控制阀，并围绕于该四通流体控制阀。

前述的万用型准流体系统，其中所述的模组基座是由不锈钢、铜、铝、聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚氯乙烯(Polyvinyl chloride，PVC)、氯化聚氯乙烯(Chlorinated polyvinyl chloride，CPVC)、铁氟龙(Polytetrafluoroethylene，PTFE)或全氟烷氧基树脂(Perfluoroalkoxyalkane，PFA)所构成。

前述的万用型准流体系统，其中所述的模组基座是由多数个矩形的基座组合而成。

前述的万用型准流体系统，其中所述的矩形的基座其中之一，更包含二相互垂直的流体通道设置于其中。