[发明专利]测试装置及测试方法

权利要求书

1、一种测试装置，该测试装置可检测一芯片取放装置，该芯片取放装置可设置于一芯片测试机，其特征在于该测试装置包含：

一控制装置，该控制装置可提供至少一操作信号至该芯片取放装置，该操作信号与该芯片测试机提供至该芯片取放装置的一动作信号相同。

2、根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于其中所述的操作信号可驱动一真空产生器，使该芯片取放装置的一气压接头的一内部区域成为真空状态。

3、根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于其中所述的操作信号可控制该真空产生器，藉以控制该内部区域的真空状态。

4、根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于其中所述的操作信号可控制至少一气阀，使一气体流至该芯片取放装置的一气压接头的一内部区域，藉以控制该内部区域的真空状态。

5、根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于其中所述的操作信号可使该芯片取放装置的一气压缸产生动作。

6、一种测试方法，该测试方法可检测一芯片取放装置，该芯片取放装置可设置于一芯片测试机，其特征在于该测试方法包括以下步骤：

提供至少一操作信号至该芯片取放装置，该操作信号与该芯片测试机提供至该芯片取放装置的一动作信号相同。

7、根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于其中所述的操作信号控制该芯片取放装置的一气压接头的一内部区域的真空状态。

8、根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于其中所述的操作信号可控制一真空产生器，藉以控制该内部区域的真空状态。

9、根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于其中所述的操作信号可控制至少一气阀，使一气体流至该内部区域，藉以控制该内部区域的真空状态。

10、根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于其中所述的操作信号可使该芯片取放装置的一气压缸产生动作。