[发明专利]差分相位解调干涉系统

权利要求书

1、一种差分相位解调干涉系统，用以量测一样品，其特征在于包含：

一极化外差干涉仪，用以产生一沿一参考路线前进的参考光束，及一沿一信号路线前进的信号光束，该参考光束包括二相互垂直的第一及第二线性极化波，该信号光束包括二相互垂直的第一及第二线性极化波，在该参考及信号光束之间具有一载波，该信号光束被指向该样品，且内含有该样品的量测资讯，该极化外差干涉仪还进一步产生一相应于该参考及信号光束的第一线性极化波的第一光学外差干涉电子信号输出，及一相应于该参考及信号光束的第二线性极化波的第二光学外差干涉电子信号输出；

一差分放大器，接收来自该极化外差干涉仪的该第一及第二光学外差干涉电子信号输出，该差分放大器并产生一差分信号输出；

一资料取得单元，接收来自该极化外差干涉仪的该第一及第二光学外差干涉电子信号输出与来自该差分放大器的该差分信号输出，该资料取得单元并同时量测该第一与第二光学外差干涉电子信号输出及差分信号输出的振幅；及

一计算单元，用以计算被该资料取得单元量测到的振幅，依照该样品的量测资讯测定至少一参数。

2、如权利要求1所述的差分相位解调干涉系统，其特征在于：所述资料取得单元使用轮廓侦查技术以量测该等第一及第二光学外差干涉电子信号输出以及该差分信号输出的振幅。

3、如权利要求1所述的差分相位解调干涉系统，其特征在于：所述计算单元决定该样品的一椭圆参数。

4、如权利要求3所述的差分相位解调干涉系统，其特征在于：所述极化外差干涉仪包括：

一同调光源，用以提供极化光；

一第一光束分光器，用以将来自该同调光源的该极化光分离为该参考光束及该信号光束；

一第一频率调变器与一第二频率调变器，分别用以处理该参考光束与该信号光束，如此的参考光束与信号光束之间有相同的载波频率；

一第一极化器与一第二极化器，分别用以处理该参考光束与该信号光束，如此的参考光束具有相互垂直的第一及第二线性极化波，如此的信号光束也具有相互垂直的第一及第二线性极化波；

一第二光束分光器，用以在该信号光束通过该样品后，结合该参考光束与信号光束；

一极化光束分光器，用以分离一来自所述第二光束分光器的输出光束，成为相互垂直的经线性极化的第一光学信号与第二光学信号，该第一光学信号相当于该信号光束与参考光束的第一线性极化波，该第二光学信号相当于该信号光束与参考光束的第二线性极化波；及

一第一光侦测器与一第二光侦测器，用以分别侦测该第一光学信号与第二光学信号，以便分别产生该第一光学外差干涉电子信号输出与该第二光学外差干涉电子信号输出。

5、如权利要求4所述的差分相位解调干涉系统，其特征在于：所述极化外差干涉仪更包括一第一带通滤波器与一第二带通滤波器，分别处理该第一光学外差干涉电子信号输出与第二光学外差干涉电子信号输出，且具有一该第一与第二光学外差干涉电子信号输出的载波频率的中心频率。

6、如权利要求4所述的差分相位解调干涉系统，其特征在于：该极化外差干涉仪更包括一被设在所述第二极化器以及该样品之间的补偿器，该补偿器用以对固定相位偏移提供补偿。

7、如权利要求1所述的差分相位解调干涉系统，其特征在于：所述计算单元决定该样品的一表面轮廓。