[发明专利]自动虚拟计量的系统及方法

权利要求书

1.一种自动虚拟计量的系统，其特征在于，至少包括：

一第一工艺装置，具有多组历史工艺数据和一组第一工艺数据，其中该第一工艺装置根据该组第一工艺数据来生产一第一工件；

一第一计量机台，具有多个历史计量值并计量出该第一工件的一第一实际计量值，其中所述多个历史计量值与该第一实际计量值分别为根据所述多组历史工艺数据与该组第一工艺数据所生产的工件的实际计量值；

一第一自动虚拟计量服务器，用以收集所述多组历史工艺数据和所述多个历史计量值；

一建模服务器，用以使用所述多组历史工艺数据和所述多个历史计量值来建立一组虚拟计量模型；

一第二工艺装置，用以根据一组第二工艺数据来生产一第二工件；

一第二计量机台，用以计量出该第二工件的一第二实际计量值；以及

一第二自动虚拟计量服务器，用以使用该组虚拟计量模型来对该第二工件进行虚拟计量。

2.根据权利要求1所述的自动虚拟计量的系统，其特征在于，该第一自动虚拟计量服务器使用该组虚拟计量模型来对该第一工件进行虚拟计量。

3.根据权利要求2所述的自动虚拟计量的系统，其特征在于，该组虚拟计量模型至少包括：

一推测模型，用以产生该第一工件的一第一虚拟计量值或该第二工件的一第二虚拟计量值，其中该推测模型的建立是根据一推测算法，该推测算法为类神经网络算法、多元回归算法或支持向量机算法；

一信心指针模型，用以产生该第一虚拟计量值或该第二虚拟计量值的信心指标值，其中该信心指针模型的建立是根据一参考预测算法，该参考预测算法为多元回归算法、类神经网络算法或支持向量机算法，且该参考预测算法与该推测算法不同；

一整体相似度指针模型，用以计算出该组第一工艺数据或该组第二工艺数据的整体相似度指针值，其中该整体相似度指针模型的建立是根据马氏距离算法； 

一工艺数据质量指针模型，用以计算出该组第一工艺数据或该组第二工艺数据的工艺数据质量指针值，其中该工艺数据质量指针模型的建立是根据主成分分析法和欧氏距离；以及

一计量数据质量指针模型，用以计算出该第一实际计量值或该第二实际计量值的计量数据质量指标值，其中该计量数据质量指针模型的建立是根据自适应共振理论2及标准化变异。

4.根据权利要求3所述的自动虚拟计量的系统，其特征在于，该第一自动虚拟计量服务器至少包括：

一中央核心控管模块，用以监控该第一自动虚拟计量服务器中其它各模块的状态并依照一双阶段的虚拟计量机制来控制各模块的运作流程；

一数据前处理模块，用以根据该工艺数据质量指针模型及该计量数据质量指针模型来进行该组第一工艺数据及该第一实际计量值的数据质量评估；

一可插入式驱动接口；

一数据收集驱动装置，连接至该可插入式驱动接口，用以获取所述多组历史工艺数据、所述多个历史计量值、该组第一工艺数据、和该第一实际计量值，其中收集完成的工艺数据和计量值是经由该可插入式驱动接口提供给该数据前处理模块处理；

一可插入式应用程序接口；

一虚拟计量模型储存模块，连接至该可插入式应用程序接口，用以置放该组虚拟计量模型；以及

一可插入式通讯接口；以及

一通讯代理者，连接至该可插入式通讯接口，用以与该建模服务器进行通讯。

5.根据权利要求3所述的自动虚拟计量的系统，其特征在于，该第二自动虚拟计量服务器至少包括：

一中央核心控管模块，用以监控该第二自动虚拟计量服务器中其它各模块的状态并依照一双阶段的虚拟计量机制来控制各模块的运作流程；

一数据前处理模块，用以根据该工艺数据质量指针模型及该计量数据质量指针模型来进行该组第二工艺数据及该第二实际计量值的数据质量评估；

一可插入式驱动接口；

一数据收集驱动装置，连接至该可插入式驱动接口，用以获取该组第二 工艺数据和该第二实际计量值，其中收集完成的工艺数据和计量值是经由该可插入式驱动接口提供给该数据前处理模块处理；

一可插入式应用程序接口；以及

一虚拟计量模型储存模块，连接至该可插入式应用程序接口，用以放置该组虚拟计量模型；以及

一可插入式通讯接口；以及

一通讯代理者，连接至该可插入式通讯接口，用以与该建模服务器进行通讯。