[发明专利]微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构无效
申请号: | 200810111890.8 | 申请日: | 2008-05-19 |
公开(公告)号: | CN101362236A | 公开(公告)日: | 2009-02-11 |
发明(设计)人: | 李勇;徐明刚;刘伟;陈旭鹏;贾维溥 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | B23H7/26 | 分类号: | B23H7/26;B23H1/00 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱印康 |
地址: | 100084北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微细 电火花 工用 电极 进给 导向 机构 | ||
1.一种微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构,主要由微细电极丝进给与损耗自动补偿模块、微细电极丝辅助激振模块和微细电极丝精密导向模块组成。其特征在于,该微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构中,微细电极丝进给与损耗自动补偿模块与Z向伺服驱动主轴(13)直接相连,微细电极丝进给与损耗自动补偿模块主要由常开夹丝机构(8)和常闭夹丝机构(7)组成,常闭夹丝机构(7)在常开夹丝机构(8)下面,位于常开夹丝机构(8)和微细电极丝精密导向模块之间,微细电极丝(9)由常闭夹丝机构(7)夹持,常闭夹丝机构(7)通过常闭夹丝机构托架(18)与微细电极丝辅助激振模块(17)下端相连,微细电极丝辅助激振模块(17)上端与连接块(16)下端相连,连接块(16)安装在导轨滑块(15)上,导轨滑块(15)通过连接块(16)与Z向伺服驱动主轴(13)相连,导轨滑块(15)和微细电极丝进给导向机构安装板(14)通过滑动连接,常开夹丝机构(8)和常开夹丝机构基座(11)的底面固接,常开夹丝机构基座(11)固定在微细电极丝进给导向机构安装板(14)上,导向管(12)、上陶瓷导向器(10)安装在常开夹丝机构基座(11)上,下陶瓷导向器(19)安装在常闭夹丝机构托架(18)上,导向管(12)、上陶瓷导向器(10)、下陶瓷导向器(19)与常开夹丝机构(8)和常闭夹丝机构(7)两者的夹丝部分在同一直线上,微细电极丝(9)从导向管(12)进入,穿过上陶瓷导向器(10)、常开夹丝机构(8)的夹丝部分、下陶瓷导向器(19)和常闭夹丝机构(7)的夹丝部分,再通过微细电极丝精密导向模块。
微细电极丝精密导向模块主要由微细电极丝精密导向模块基座(6)、微细电极丝导向硅片底座(2)、微细电极丝导向硅片(1)以及弹性压丝机构(3)组成,微细电极丝精密导向模块基座(6)固定在微细电极丝进给导向机构安装板(14)上,微细电极丝导向硅片(1)固定在微细电极丝导向硅片底座(2)上,微细电极丝导向硅片底座(2)由电极丝导向硅片基座定位压片(20)压紧固定在微细电极丝精密导向模块基座(6)上,微细电极丝(9)被弹性压丝机构(3)约束在微细电极丝导向硅片(1)的精密V型导向槽(23)内。
2.根据权利要求1所述的微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构,其特征在于,所述弹性压丝机构(3)由微细电极丝压紧力调整机构托架(5)、四个微细电极丝压紧力调整螺钉(4)、长弹簧丝(25)、短弹簧丝(26)、下压丝柱(27)、上压丝柱(28)构成,微细电极丝压紧力调整机构托架(5)安装在微细电极丝精密导向模块基座(6)的端面,短弹簧丝(26)穿过上压丝柱(28)的中心孔,短弹簧丝(26)的左、右两端分别插入微细电极丝压紧力调整机构托架(5)上部的对应定位孔内,长弹簧丝(25)穿过下压丝柱(27)的中心孔,长弹簧丝(25)的左、右两端分别插入微细电极丝压紧力调整机构托架(5)上部的对应定位孔内,四个微细电极丝压紧力调整螺钉(4)安装在微细电极丝压紧力调整机构托架(5)的四个螺纹孔内,左、右两个微细电极丝压紧力调整螺钉(4)的顶端分别压住长弹簧丝(25)的左、右两段,中间两个微细电极丝压紧力调整螺钉(4)的顶端分别压住短弹簧丝(26)的左、右两段,上压丝柱(28)和下压丝柱(27)在微细电极丝导向硅片(1)的精密V型导向槽(23)上压住微细电极丝(9)。
3.根据权利要求1所述的微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构,其特征在于,所述的精密V型导向槽(23)刻蚀在微细电极丝导向硅片(1)上,第一层涂层二氧化硅薄膜(22)沉积在微细电极丝导向硅片(1)的V型导向槽表面,第二层涂层氮化硅薄膜(24)沉积在第一层涂层二氧化硅薄膜(22)表面上。
4.根据权利要求1所述的微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构,其特征在于,所述微细电极丝辅助激振模块(17)为压电陶瓷激振模块或电磁激振模块。
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