[发明专利]基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器无效
申请号: | 200810112285.2 | 申请日: | 2008-05-22 |
公开(公告)号: | CN101285711A | 公开(公告)日: | 2008-10-15 |
发明(设计)人: | 李新阳;李敏;姜文汉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G02B26/06 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 贾玉忠;卢纪 |
地址: | 61020*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 ccd 线性 相位 反演 传感器 | ||
1.基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器,包括衍射成像光学系统(1)、面阵CCD(2)、图像采集卡(3)、PC计算机(4)、轴向平移台(5)、横向平移台(6)和底座(7),其特征在于:衍射成像光学系统(1)固定在底座(7)上,面阵CCD(2)固定在轴向平移台(5)上,将轴向平移台(5)上又固定在横向平移台(6)上,横向平移台(6)固定在底座(7)上,面阵CCD(2)置于衍射成像光学系统(1)的离焦面上,使平行光源通过衍射成像光学系统(1)后形成的光斑位于面阵CCD(2)的靶面中心,通过图像采集卡(3)将面阵CCD(2)的图像采集到PC计算机(4)中进行处理。
2.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器,其特征在于:衍射成像光学系统(1)可以采用带有三维调整功能的机械件固定,再固定在底座(7)上,或直接固定在底座(7)上。
3.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器,其特征在于:传感器的系统像差可以自由设置,可以通过自由调整轴向平移台(5)的位置来调整面阵CCD的位置,以改变离焦像差的大小,也可以加入像差为实偶函数的像差板。
4.根据权利要求1所述之基于分立光强测量器件的线性相位反演波前传感器,其特征在于:传感器使用前,先用无像差理想平行光源定标传感器的系统像差,并记录下定标时的系统像差图像。
5.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器,其特征在于:通过调整横向平移台(6),使面阵CCD(2)和衍射成像光学系统(1)同轴。
6.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器,其特征在于:衍射成像光学系统(1)为单透镜或透镜组。
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