[发明专利]基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器

权利要求书

1.基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器，包括衍射成像光学系统(1)、面阵CCD(2)、图像采集卡(3)、PC计算机(4)、轴向平移台(5)、横向平移台(6)和底座(7)，其特征在于：衍射成像光学系统(1)固定在底座(7)上，面阵CCD(2)固定在轴向平移台(5)上，将轴向平移台(5)上又固定在横向平移台(6)上，横向平移台(6)固定在底座(7)上，面阵CCD(2)置于衍射成像光学系统(1)的离焦面上，使平行光源通过衍射成像光学系统(1)后形成的光斑位于面阵CCD(2)的靶面中心，通过图像采集卡(3)将面阵CCD(2)的图像采集到PC计算机(4)中进行处理。

2.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器，其特征在于：衍射成像光学系统(1)可以采用带有三维调整功能的机械件固定，再固定在底座(7)上，或直接固定在底座(7)上。

3.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器，其特征在于：传感器的系统像差可以自由设置，可以通过自由调整轴向平移台(5)的位置来调整面阵CCD的位置，以改变离焦像差的大小，也可以加入像差为实偶函数的像差板。

4.根据权利要求1所述之基于分立光强测量器件的线性相位反演波前传感器，其特征在于：传感器使用前，先用无像差理想平行光源定标传感器的系统像差，并记录下定标时的系统像差图像。

5.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器，其特征在于：通过调整横向平移台(6)，使面阵CCD(2)和衍射成像光学系统(1)同轴。

6.根据权利要求1所述之基于面阵CCD的线性相位反演波前传感器，其特征在于：衍射成像光学系统(1)为单透镜或透镜组。