[发明专利]一种基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头

权利要求书

1.一种基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，主要结构包括压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；其特征在于，在喷头外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或与柔性薄膜的夹角为锐角，作为微槽道中液体喷射的驱动器；上述与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁相结合构成液体喷射结构；在电压的驱动下，压电悬臂梁发生偏转形变，驱动微槽道顶部的柔性薄膜发生形变，从而改变微槽道的体积，将微槽道中的液体从与微槽道相通的微喷孔中喷出。

2.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁的一端或一侧与衬底相连，作为悬臂梁的固定支撑端，悬臂梁其它部分为悬空可动。

3、根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁为包含压电层和非压电层的多层复合结构，其中至少包含一层压电层及其上、下电极层。

4.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁中的各层，覆盖整个悬臂梁，或部分地分布于悬臂梁上。

5.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述柔性薄膜为有机薄膜材料，或掺入添加剂的有机薄膜材料。

6.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部与柔性薄膜外表面直接相接触或不接触，或通过粘接的方式与柔性薄膜外表面相接。

7.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述压电悬臂梁在每个微槽道顶部柔性薄膜的外部至少放置一个，驱动同一个微槽道中的液体从与之相通的微喷孔中喷出。

8.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头，其特征在于：所述基于压电悬臂梁和柔性薄膜的液体喷头中，包含至少一组与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁，构成基于压电悬臂梁和柔性薄膜的阵列式液体喷射结构。