[发明专利]清洗方法及清洗机台

权利要求书

1.一种清洗方法，包括，配制包含清洗溶液和氧化溶液的混合溶 液；利用所述混合溶液对运行于清洗机台中的基底执行清洗操作，其特 征在于：所述混合溶液的配置过程是利用所述清洗机台在所述基底的运 行过程中完成的，且配制所述混合溶液时放出热量；所述清洗溶液包含 硫酸和双氧水，所述氧化溶液包含臭氧的水溶液；

所述清洗机台包括：承载台、液体管路和混合装置，流经所述液体 管路的清洗溶液和氧化溶液清洗位于所述承载台上的所述基底；所述液 体管路包括至少两个入口和至少一个出口，所述清洗溶液和氧化溶液经 由不同入口进入所述液体管路；所述出口与所述混合装置连通。

2.一种清洗机台，包括，承载台和液体管路，流经所述液体管路 的清洗溶液和氧化溶液清洗位于所述承载台上的基底；其特征在于：所 述液体管路包括至少两个入口和至少一个出口，所述清洗溶液和氧化溶 液经由不同入口进入所述液体管路；所述清洗机台还包括混合装置，所 述出口与所述混合装置连通；所述清洗溶液包含硫酸和双氧水，所述氧 化溶液包含臭氧的水溶液。

3.根据权利要求2所述的清洗机台，其特征在于：所述清洗机台 还包括氧化气体发生装置和气体管路，所述气体管路的一端与所述发生 装置连通，所述气体管路的另一端与所述液体管路或混合装置连通；生 成的氧化气体经由所述气体管路溶入所述清洗溶液及/或水溶液。

4.根据权利要求3所述的清洗机台，其特征在于：所述氧化气体 发生装置为臭氧发生器。